中古 CREATIVE 50 GPAW-TD #9388473 を販売中
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CREATIVE 50 GPAW-TDウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、高品位な仕上げで、ウェーハの表面をフラットで欠陥のない表面に変換するために使用される高精度で自動化されたプロセスです。このシステムは、均一な研磨、高いスループット、優れた再現性を備えた複数のウェーハの効率的な処理を保証します。それは研究および用具の開発のためにとりわけ設計され、4つの頭部の振動粉砕および高度のラッピング及び磨く技術のような先端技術を使用します。このユニットには、自動化された精密ヘッドと専用のマルチヘッド技術が組み込まれており、複数のウェーハの同時研削とラッピングが可能です。人間工学に基づいた設計により、簡単な操作と迅速なセットアップ変更が可能です。高度な制御マシンは非常に直感的であり、効果的なプロセス制御のためのグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。さらに、プロセスと結果の完全な制御と文書化を可能にする内部監視ツールも含まれています。アセットのパフォーマンスは、ウェーハごとに個々の研削およびラッピング工程を調整することができ、将来の運用に向けたセットアップ情報も節約できます。ウェットグラインディングモデルを採用しており、一度に最大4枚のウェハの加工をサポートします。この機能は、さまざまなウエハサイズに使用できる強力な研磨材料と、形状や微細構造のさまざまな要件を備えています。この装置は、ダイヤモンド研磨パッドだけでなく、超研磨ラッピングおよび研磨材料でも動作します。このシステムは、プロセス全体にわたって低い除去速度と表面欠陥を維持する高度な研磨技術を使用しています。また、高度なオートメーション技術を搭載し、効率的なウェーハの取り扱い、監視、安全性を実現しています。入出力ウェーハ用の自動ローディング/アンロードステーションが付属しており、他の自動化されたプロセスで拡張することができます。統合されたPLC (Programmable Logic Controller)を備えており、直感的なプロセス制御マシンを提供し、操作を合理化し、ウェーハの均一な品質を保証します。最後に、プロセスの各段階でプロセスパラメータを監視し、品質を確保し、潜在的な危険からオペレータを保護し、資産の寿命を延ばす安全ツールを内蔵しています。50 GPAW-TDウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルは、高度に自動化されたプロセスと正確な性能により、研究およびツール開発に最適です。これは、最も厳格な品質ニーズを満たすために、均一な品質のウェーハとプロセスの優れた再現性を保証します。人間工学に基づいた設計と、統合された監視システムと安全対策により、信頼性の高い運用と最大限の顧客満足を保証します。
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