中古 COBURN CMX 50 #9245010 を販売中

COBURN CMX 50ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、フラット、薄型、デリケート基板のアプリケーション要件のための高度な生産システムです。超精密研削ホイールヘッドとマイクロポジショニングおよびラッピングステージを組み合わせることで、より速く、より正確で経済的な生産プロセスを実現します。研削ホイールヘッドは独自のセグメントデザインを採用し、材料への負担とストレスを最小限に抑えた繊細な部品の高精度な研磨と研磨を可能にします。研削ホイールヘッドは、正確な位置決めのための高精度のエアベアリング構造を備えた精密モータを備えています。それにまた粗く、良い粉砕のための調節可能な粉砕力だけでなく、調節可能な速度制御があります。さらに、このホイールヘッドには、汚染を低減するための必要な集塵機と温度を制御するための内蔵の冷却ツールがあります。CMX 50のラッピングおよび研磨ステージは、高精度の表面仕上げを提供し、基板の欠陥を排除します。基板の精密な位置決めのためのマイクロ位置決めテーブルと、高精度の回転ラッピングプレートを備えています。ロータリーラッピングプレートは、最大300rpmの速度で調整可能で、直径150mmの最大サイズで0。6mmから12。7mmの厚さの基板に対応できます。COBURN CMX 50は、さまざまなウェーハや基板の大規模生産に対応できます。このアセットの正確で自動化されたプロセスにより、高速化、精度の向上、サイクル時間の短縮、スループットの向上が可能になります。CMX 50は、光学、光電子、SEM、および高性能集積回路のための繊細なウェーハおよび基板の高精度な研削、ラッピング、研磨に最適です。また、要求の厳しいナノ加工要件にも適しています。