中古 COBURN 604 #9113445 を販売中

COBURN 604は、半導体産業に高度な加工能力をもたらすように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。2段階の研磨プロセスを利用して、半導体ウェーハ上に高精度な表面を作成します。604は、1「、2」、2。5「および3」ウェーハを処理するように構成されています。ヘビーデューティ研削モーターを使用して、ウェーハを適切な厚さに研削します。研削工程はサーボ制御されており、幅広い範囲で正確な厚みが得られます。COBURN 604は、同じ平面で回転する2つの独立制御ポリッシャーを使用して、良好で滑らかなサーフェスを作成します。調節可能なスピードポリッシャーにより、ウェーハのさまざまな領域をターゲットにした再表示が可能になり、一般的な研削およびラッピングシステムよりも高い制御性と均一性を実現します。処理後、組込みCoolBellロボットユニットを使用してシステムからウェーハを排出します。これにより、他のシステムに関連する手動のウェーハ処理が不要になり、歩留まりが向上します。機械の制御ソフトウェアは完全なオペレータに優しい使用のために設計されています。プログラミングと制御が容易で、現在のウェーハとプロセスステータスに関する情報と、適切なプロセスソフトウェアと連携した詳細なプロセスデータを提供します。プログラム可能なアラームは、任意のツールの問題をオペレータに通知します。このアセットには、手動ハンドリングなしでウェーハをロードおよびアンロードすることができるカセットツーカセットインターフェイスを装備することもできます。604はまた維持し、整備すること容易であるために造られます。必要に応じて、完全な分解と部品交換を簡素化するモジュール化された設計が特徴です。それに機械生命を最大にし、良質プロダクトを作り出すように設計されている封じられた、ちり止めの構造があります。このモデルは、あらゆる環境要件に適応することも可能です。全体として、COBURN 604は半導体産業に最新技術をもたらす高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。サーボ制御研削、二段研磨、ロボットウェーハ処理、オペレータフレンドリーなソフトウェアなど、高精度な半導体ウェーハの製造を可能にします。手作業による処理とその結果として生じる運用コストを最小限に抑えながら、効率を向上させます。