中古 CMV 5-25 #9045669 を販売中

CMV 5-25
ID: 9045669
ウェーハサイズ: 3"
Polisher, 3" (5) Spindle.
CMV 5-25は高精度、高い物質的な取り外し率およびいろいろな産業適用のための優秀な表面の終わりの組合せを提供するように設計されている優れたウェーハの粉砕、ラッピング及び磨く装置です。このシステムは、高精度XYZステージに取り付けられた高速スピンドルアセンブリで構成されています。スピンドルデバイスは、時計回りと反時計回りの両方の方向で動作し、制御された研削、ラッピング、研磨操作を提供します。クローズドループサーボモータを搭載し、高精度・再現性、高周波スピンドルにより高速動作を実現しています。5-25工具は、Ra 0。01ミクロン以下の表面仕上げで高い材料除去率を提供します。制御アセットには、複数のプログラムメモリが装備されており、さまざまなプロセスを保存して再現可能で正確な結果を得ることができます。さらに、プロセスサイクルは、LCDタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイスを介して迅速かつ簡単にプログラムされます。モデルの安全性は、ドアインターロック、モーションセンシングセーフティスイッチ、電源切断など、多くの安全機能を備えています。このマシンには、隣接する外部ポンプとバルブ制御コンソールが装備されており、さまざまな液体補助アプリケーションを提供するために使用することができます。この装置は、バックラッピングや水/化学補助精密研磨などのさらなる精密加工に使用できます。ポンプは、高速研削作業中に発生する熱を取り出すのにも役立ちます。CMV 5-25ユニットは、高精度で反復可能なシステム制御を提供するために、容量性および誘導性の測定スケールを使用して高性能を確保する高精度の多軸エンコーダで設計されています。また、3つの軸に沿ってスピンドルの高速、精密、再現可能なモーションコントロールを提供する様々なアンプとコントローラーシステムが装備されています。5-25工具は、研削、ラッピング、研磨などの産業用ウェハベースの用途において、高精度、高材料除去率、および優れた表面仕上げに最適なソリューションです。比類のない精度、再現性、精度を提供し、簡単なプログラマビリティ、より高い安全性、および液体補助プロセスを組み込む能力の付加的な利点があります。
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