中古 CLARK MHT 1 #117113 を販売中

CLARK MHT 1は、最大300mm径のウェーハに超精密な表面仕上げ、並列性、サイズを提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、自動化されたチャックユニットを備えており、ウェーハを手動でチャックする必要がありません。この研削能力は、強力な3HP 2,200 rpmモータによって可能になり、最大30 ft/分の足の速度と1ナノメートル未満の起伏を可能にします。また、クローズドループダイナミックプロセスコントロールを搭載しており、すべてのアプリケーションで全自動の研削、ラッピング、研磨プロセスを可能にします。MHT 1は、研削機能に加えて、パッド、スプレー、化学機械的研磨などの幅広いラッピング技術を使用してラッピングを実行することができます。統合されたチャックツールは、ラッピングステージ間でウェーハを簡単に転送し、一貫性のある結果を保証するだけでなく、異なるラッピングステージを同時に実行する機能も備えています。このアセットには、ユーザーが簡単にモデルを設定および制御し、そのパフォーマンスを追跡し、結果を最適化するためのパラメータを迅速に調整できるタッチパネルも装備されています。パネルはまた遠隔監視および制御を可能にします、装置があらゆるコンピュータ、タブレットまたは移動式装置から作動させることができることを意味します。最後に、CLARK MHT 1も高速で信頼性の高い結果を提供するように設計されています。このシステムは、高いスループットと精度を提供するように設計されており、高精度で高性能なアプリケーションに最適です。MHT 1は、チャックユニット、クローズドループのダイナミックプロセス制御、およびさまざまなラッピング技術を内蔵しており、汎用性が高く、信頼性が高く、費用対効果の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。