中古 CHIPTON HS-R30 #9391002 を販売中

CHIPTON HS-R30ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、ウェーハの優れた表面仕上げを実現するための効果的で効率的なソリューションです。このシステムは、単結晶シリコンからSiC、 GaN、 GaAsなど、あらゆるタイプのウェーハの高精度な研磨工程向けに設計されています。HS-R30は高速材料の取り外し、傷なしの平坦および非常に均一な表面の終わりが可能です。CHIPTON HS-R30ユニットは、ウェーハ表面全体に高速粒子を吹き飛ばすデュアル側面研削スピンドルを備えています。一貫した研削結果を確保するために、このマシンには、スピンドル速度を監視および制御するためのデジタルディスプレイとデジタルスピードコントロールユニットが装備されています。さらに、このツールには、研削オーバーシュートを最小限に抑えるためのプロセス監視装置が装備されています。HS-R30のラッピングアセットは、高精度で調整可能なベースプレートで構成されており、ウェーハを必要な位置と角度で正確に保持します。このモデルには、ラッピング表面全体にわたって高精度の一定速度を維持するための強力なエアジェットも装備されています。調節可能な3軸ステージにより、装置は広範囲の動作を提供し、高い平面性と精度で成果を達成することができます。CHIPTON HS-R30には、トリマー、ブラシ、シート、ディスクなどの研磨ツールも用意されています。このシステムには、精度と再現性の高い自動工具位置設定装置が装備されています。HS-R30はまた、ウェーハにかかる研磨圧力の量を調節するのに役立つ霧化ユニットを持っています。さらに、真空ユニットは、研磨プロセス中に存在する可能性のある余分な研磨粒子を除去するのに役立ちます。全体的に、CHIPTON HS-R30は信頼性の高い、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨機であり、精度と再現性で優れた表面仕上げを生み出すことができます。その効果的かつ効率的なプロセス管理と調整可能な機能により、ツールは多くのアプリケーションに適応し、最高品質の結果を提供することができます。