中古 CHEMPLEX GyralGrinder 5000 #9255411 を販売中

ID: 9255411
System.
CHEMPLEX GyralGrinder 5000は、半導体製造の研究および生産アプリケーション向けに設計されたハイエンドウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この革新的なシステムは、非鉛化ガリウムヒ素(GaAs)および窒化ガリウム(GaN)半導体ウェーハを6インチまで精密に研削、ラッピング、研磨することができます。GyralGrinderは、ダイヤモンドツールを使用したオールインワンウェーハ準備ユニットを提供し、ウェーハの両側を1つのパスで並列に粉砕およびラップします。GyralGrinderは、高解像度の電動ステージ、統合カメラ、高度なユーザーフレンドリーなソフトウェアで構築されています。強力な研削およびラッピングツールと最大75,600 RPMの更新周波数を組み合わせることで、ウェーハの正確な準備と継続的なモニタリング結果を保証します。このツールには、ウェーハの材料に最適化された研磨板も含まれており、優れた結果を得るための研磨力の均一な分布につながります。GyralGrinderは、ダイレクトドライブモーターと高いトルク主軸を搭載し、プロセス中のたわみを防ぎ、振動環境を低減します。コンパクトな設計で最大4つのウェーハを同時にセットアップでき、防塵エンクロージャによりクリーンな操作とクリーニングとメンテナンスの容易さを実現します。GyralGrinderには、研削工程中に角度を最高精度に自動調整できる革新的な研削盤アームも装備されています。その統合されたハンドルはユーザーが手動で粉砕された溝の力そして形を調節することを可能にします従って最もよい結果を保障します。GyralGrinderは、今日の市場で最も先進的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの1つです。その高度な機能により、さらなる製造プロセスのための優れたウェハを保証するための信頼性の高いウェーハ準備資産となります。
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