中古 BULA BM 365 #9195106 を販売中

ID: 9195106
Polishing machines Round table diameter: 550mm Vertical stroke: 230mm Horizontal stroke: 210mm (4) Workpiece holder spindles (3) Polishing units Automatic grinding compound Machine hours: Approx. 21000h Extraction system: Ruwac Control: Siemens simatic S7 2007-2008 vintage.
BULA BM 365は、さまざまな材料で優れた加工精度と性能を提供する高精度、自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、迅速かつ正確な制御のための2軸CNCコントローラ、正確な研削とラッピングのための強力なスピンドル、および自動ウェーハディスペンスユニットを備えています。BM 365は、直径6インチまでの半導体ウェーハを研削およびラップするように設計されています。スピンドルは0〜2,500RPMの調整可能な速度範囲を備えており、正確な研削結果を提供します。この機械に最も堅い材料を扱う1.5KWの最高の紡錘力があります。また、空気圧式ローラークランプを装備し、ウェーハの正確な位置決めを確保し、加工精度を向上させます。ダイヤモンド研磨媒体を使用してラッピングと研磨プロセスを実行します。スピンドルの高速化により、短いサイクル時間と優れた研磨品質を実現します。オペトップのラッピングプレートは、均一な回転と自動ラッピング圧力制御を保証し、優れた研削結果を実現します。このアセットには、効率的な材料除去とウェーハの正確なラッピングを保証する真空モデルも装備されています。BULA BM 365には、自動ウェハローディングとアンロードの2つのステーションがあります。この装置には、サイクル時間を大幅に短縮する完全自動ウェーハディスペンスシステムも装備されています。ウェーハディスペンスユニットは、プロセスの要件に応じて、真空モードまたは窒素なしモードで動作することができます。BM 365は、最大限の柔軟性を実現するコンピュータソフトウェアパッケージと互換性があります。これは、簡単なリモート接続とデータ交換のためのイーサネットインターフェイスを備えています。マシンの直感的でインタラクティブなヒューマンマシンインターフェイスは、セットアップと操作を迅速かつ簡単にします。BULA BM 365は、多種多様な材料で研削、ラッピング、研磨に優れた精度と精度を提供します。その機能とパフォーマンスにより、このツールはより大きな収率を達成し、コストを削減するのに確実です。
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