中古 BUEHLER Techmet #9033153 を販売中

BUEHLER Techmetは、ITW社のウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、生産と研究の両方のアプリケーション用に設計されており、正確で反復可能な結果を提供します。ユニットは、複数のサブシステムを収容する統合された卓上シャーシで構成されています。ラッピングおよび研磨操作は、自動化されたプラテンコンピュータ制御惑星機械によってサポートされています。最大直径200mmまでの8インチウェーハキャリアを6台まで収容できます。このツールは、特定の性能要件を達成するためのラッピングおよび研磨パラメータを提供するように設計されています。研削ステージは、ウェーハ表面上の幅広い動きを持つ高度な高速サーボ制御リニアモータアセットを備えています。調節可能な紡錘の深さは6から64ミクロンから正確に粉砕プロセスを制御するために及びます。さらに、このモデルはインテリジェントエンドポイント検出サブシステムを備えており、研削パラメータを正確に監視および調整できます。研磨作業も自動化され、調整可能な速度、ランタイム、およびフォースパラメータによって制御されます。Techmetはオンボードの高解像度イメージングプロファイラを搭載しており、ウェーハ表面のリシェーププロファイルを測定するようにプログラムされています。これにより、最適化のための重要な寸法を正確に測定し、検証と品質管理を行うことができます。直感的なユーザーインターフェイスは、使いやすさのためのタッチスクリーンを備えたWindowsベースのオペレータ制御で構成されています。さらに、BUEHLER Techmetは分析とSPCデータ取得を提供するように設計されています。これにより、プロセス制御が強化され、所望の仕様が一貫して達成され、より高い歩留まりが実現され、廃棄物が削減されます。要するに、Techmetは精密部品を正確かつ再現性のあるものにするように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。内蔵および自動化されたシステムは、高速、サーボ制御のリニアモーターユニット、調整可能な速度、ランタイム、およびフォースパラメータ、およびオンボードの高解像度イメージングプロファイラを備えています。直感的なユーザーインターフェイス、診断システム、SPCデータ収集は、最適なパフォーマンスを確保するために必要な強力なツールを提供します。