中古 BUEHLER Phoenix BETA #9288501 を販売中

BUEHLER Phoenix BETAは半導体産業で使用するために開発されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。大面積の水平花崗岩テーブルに支えられた高度な3軸モーションと振動制御ユニットを備えています。ウェーハの厚さと表面粗さを正確に自動制御できるように設計されています。このマシンは、調整可能な周波数機能を備えた高出力モーターを使用して、ウェーハ表面を急速に粉砕、ラップ、研磨するベルトフィードツールを駆動します。また、プログラム可能なCNC制御入力を使用して、所望のプロセス結果を得るために送り速度と深さを調整します。このユニットは、2番目の研磨ベルトキットを装備した場合、極性および非極性研削を実行することもできます。6軸モーションの内蔵研削とラッピングヘッドは、研削ホイールと回転速度に調整可能な電力を提供します。アプリケーションに応じて、オペレータはさまざまなパラメータから選択することによって研磨ベルトのパワーと速度を調整することができます。ウェハクリーニングもアセット上の特徴で、加工後の残留物の除去が可能です。フェニックスベータウエハ研削、ラッピング、研磨モデルは、さまざまな用途に最適な品質を提供するように設計されています。これは、迅速かつ簡単な調整メカニズムであり、最大の効率と柔軟性を可能にします。また、自動摩擦制御、ウェーハの差異に対する自動補正、システムのセットアップと制御を容易にする直感的なユーザーインターフェイスなど、さまざまな機能を備えています。つまり、BUEHLER Phoenix BETAは、研削、ラッピング、研磨時に精度と精度を必要とするメーカーに理想的なソリューションを提供します。これは、大容量、高精度の操作と大面積のプロセスのための究極のツールです。ウェーハ研削、ラッピング、研磨の新たな基準を設定し、半導体業界に求められる最高品質の結果を提供するように設計されています。