中古 BUEHLER Phoenix Alpha #150153 を販売中

BUEHLER Phoenix Alphaは、最先端の自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。1つのプラットフォームで3つの技術を組み合わせ、高いスループット、高い生産性、優れた表面仕上げの制御を可能にします。コンピューター制御の軸システムを使用して、ラッピングおよび研磨ステージの正確な材料位置決めと圧力制御を行い、一貫性のある再現性のある仕上がりを保証します。Phoenix Alphaは優れた研削性能を提供し、直径15mmから300mmまでのウエハーの精密加工に使用できます。BUEHLER Phoenix Alphaの中心には、ほとんどのタイプの金型材料に対応できる400mmラッピングプレートがあります。プレートは、ユニットの強力な電動モーターによって駆動され、ウェーハ材料全体に一貫した圧力を提供するように設計されています。ラッピングプレートは、表面仕上げを最適化するために傾斜と圧力の両方で調整可能です。フェニックスアルファはまた、その研削盤のプログラム可能な動きを備えており、それは石のサイズと剛性の範囲にわたって研削プロセスを正確に管理することができます。BUEHLER Phoenix Alphaにはウェットステーションも装備されており、従来の研磨研磨剤や研磨剤を必要とせずにウェーハの研磨と研磨が可能です。ウェットステーションは、効率的かつ継続的な操作を確保するために、高度なフィルタリング、ポンプ、および自動クリーン機能を誇っています。さらに、フェニックスアルファは、温度勾配を低減し、最適な表面品質を保証する水冷ツールを備えています。BUEHLER Phoenix Alphaは、高度なプロセス監視と制御も提供しており、ウェーハ表面全体で最適な化学バランスを確保するためにプロセスパラメータを調整することができます。高度な監視技術により、表面仕上げ、歪み、およびトラブルシューティングに使用できるその他の重要なパラメータのデータロギングと分析が可能になり、最適なパフォーマンスを保証します。全体として、フェニックスアルファは優れた自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、最高品質の一貫した再現性のある仕上げを得ることができます。クラス最高の研磨技術と研磨技術を融合させ、直径300mmまでのウェーハのコスト効率に優れた加工と、優れた精度と制御を提供します。