中古 BUEHLER Phoenix 4000 #9377666 を販売中

BUEHLER Phoenix 4000は、半導体業界で使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、自動化された高精度環境で直径8インチまでのウェーハを研削、ラップ、研磨するように設計されています。これは、最大50個のオンボードメモリスロットに保存されたプロセスレシピで、大規模な生産実行を処理することができます。フェニックス4000には、強力なDCモーターと、正確な研削とラッピング動作のための高トルク駆動が装備されています。スピンドル速度と力は、研削および研磨パラメータを微調整するために調整可能です。統合されたウォーターノズル機能は、ウェーハ表面の欠陥を除去するために必要な冷却および潤滑を提供します。BUEHLER Phoenix 4000は、バリやピットのない滑らかな粉砕を提供するように設計されたダイヤモンドウェハヘッドも備えています。ウエハヘッドは、最適な性能のために異なる厚さに調整することができます。ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスをカスタマイズするために、多数のアクセサリーが用意されています。これらには、多数の研磨ダイヤモンド研削ホイール、アクティブクーリングユニット、ラッピングスラリーが含まれます。フェニックス4000には、研削とラッピングプロセスを自動化するためのさまざまな機能強化も含まれています。これらには、ウェーハの進捗状況を監視する高度なビジョンマシンと、簡単なプロセス編集と分析機能のためのタッチスクリーンコントロールを備えたユーザーフレンドリーなインターフェースが含まれます。ウェーハ温度、ウェーハ硬度、表面仕上げを監視するための分析ツールを幅広く提供しています。内蔵のデータロギング機能は、将来のリコールと分析のためのプロセスパラメータとデータを記録および保存します。BUEHLER Phoenix 4000は、半導体産業におけるウェーハの高精度研削、ラッピング、研磨のための革新的なツールです。分析ツール、自動化されたプロセス制御、カスタマイズされたプロセスのためのアクセサリの範囲で構築された優れたパフォーマンスを提供します。