中古 BUEHLER Phoenix 4000 #177485 を販売中

BUEHLER Phoenix 4000は、ウェーハ加工および薄膜成膜の適用において、最大のスループットとプロセス忠実性を実現するように設計された、高度で自動化されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、生のウェーハ表面から半導体の欠陥を除去し、重大な寸法の均一性とウェーハ平面性の高い歩留まり再現性を確保します。フェニックス4000は、研削、ラッピング、研磨からなる3段階のプロセスを利用しています。研削工程では、エラストマーベルトを使用してウェーハから素材を素早く正確に除去し、ラッピング工程ではダイヤモンド化合物と研磨紙を使用して、ウェーハ表面の滑らかで均一な仕上がりを実現します。このプロセスの最終段階である研磨は、ウェーハ表面の非常に低いRa（粗さ平均）を達成し、必要な薄膜蒸着を達成するために使用されます。BUEHLER Phoenix 4000は、粉塵粒子から保護するためのトータルエンクロージャや、研磨プロセス中にウェーハに印加される圧力を監視する調整可能なフォースセンサーなど、幅広い最先端の安全機能を備えています。さらに、研削過多を防止する自動ウェーハ保護機と、完全なプロセス制御のためのLCDモニターディスプレイを備えています。Phoenix 4000は、高度かつ自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、ウェーハ加工および薄膜成膜の適用において最大のスループットとプロセス忠実性を実現するよう設計されています。これは、安全性の特徴とプロセス制御だけでなく、精度と再現性のためのエラストマーベルトやダイヤモンド化合物の多種多様を持っています。