中古 BUEHLER PETRO-THIN 38-1450-160 #9291561 を販売中

BUEHLER PETRO-THIN 38-1450-160は、ウェーハ、セラミックス、金属、化合物半導体などの硬質材料に非常に高品質の平坦および平行表面を生成するように設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。直径150mm、厚8mmまでの基板加工が可能です。単位の中心は非常に安定した粉砕および磨くプラットホームを提供するのに使用される12 ″ HVプラテンです。HVプラテンは、均一な研磨と研磨面を提供する2つのダイレクトドライブサーボモータのセットによって駆動されます。プラテンはまた、マイクロポジショニング装置が研磨面全体が平坦で平行であることを確認することを可能にします。PETRO-THIN 38-1450-160は、3軸送り機構を備えており、研削および研磨プロセス中にウェーハを所望の方向に駆動するために使用されます。これにより、ウェーハの正確なアライメントとプロセスの再現性が可能になります。研磨パラメータを正確に制御するために、機械には自動コントローラが装備されています。このコントローラーはユーザーが粉砕/磨く圧力、磨く速度、プラテンの回転、流れ、時間および粉砕機の格子サイズを調節することを可能にします。このコントローラには、ウェーハの硬度を正確に測定し、最適な研磨パラメータを決定するために使用できる硬度試験機も装備されています。また、ウェーハの歪みを低減し、平坦かつ平行な表面結果を保証する高度なトップダウンウェーハ研磨/研磨技術を備えています。PETRO-THIN BUEHLER PETRO-THIN 38-1450-160には、最適な研削条件と品質結果を維持するために、研削圧力と温度を監視する統合フィードバック資産もあります。清潔で制御された環境を維持するために、モデルにはリアルタイムビデオ監視装置を備えた液晶ディスプレイと、ウェーハに到達する前に空気から塵の粒子をろ過するためのエアフィルトレーションユニットが付属しています。これは、潜在的な汚染を低減し、ウェーハ表面の結果を最適化するのに役立ちます。38-1450-160は生産環境におけるウェーハ、セラミックス、金属、化合物半導体の高精度な研磨および研磨に理想的なツールです。ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための効率的で費用対効果の高いソリューションです。