中古 BUEHLER MetaServ 250 #9265632 を販売中
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BUEHLER MetaServ 250は、汎用性と精度の究極の組み合わせを提供するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、直径250mmまでの小型から中型の半導体ウェーハを処理するように特別に設計されています。MetaServ 250に内蔵されたスラリーユニットは、ウェーハ研削プロセスを正確に制御することができ、表面欠陥を迅速に除去し、非常に均一で研磨された仕上げを実現します。エピタキシャル加工、欠陥補修、裏面研削などの用途でよく使用されます。頻繁なサービスを必要としないため、事実上メンテナンスフリーであり、高度なコントローラソフトウェアは再現可能な結果を保証するのに役立ちます。BUEHLER MetaServ 250は、自動化されたプロセスモニタリングとスローモーション研削により、研磨プロセスの制御を強化します。このツールには革新的なデュアルヘッドおよびシングルヘッド研削モジュールが装備されており、ウェーハ表面のさまざまなレベルの粗さと明瞭さを達成するために使用することができます。このアセットは、シリコンベースのウェーハ、硬質石英基板、挑戦的なセラミック材料など、さまざまな材料に簡単に対応できます。MetaServ 250は、複雑なウェーハジオメトリでも高い再現性を提供し、各本番環境で安定したパフォーマンスを実現します。このモデルはまた、研削および研磨作業のための速度、圧力、および温度制御オプションの広い範囲を提供し、ユーザーが所望の結果を得るためにプロセスを微調整することができます。さらに、直感的なユーザーインターフェイスにより、特定のプロトコルやアプリケーション固有の要件に応じて機器を簡単にプログラミングできます。全体として、BUEHLER MetaServ 250は完全なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムであり、半導体業界における優れた表面仕上げのための最良のオプションの1つです。堅牢な構造、自動化されたプロセスモニタ、多種多様な研磨および研磨オプションにより、幅広いシリコンベースのウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。
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