中古 BUEHLER ECOMET V #9032871 を販売中

BUEHLER ECOMET Vは、今日の先進的な材料製造および加工アプリケーションの要求に応えるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。それは密集した、ユーザーフレンドリーな設計の高精度、反復可能な、信頼できる操作を提供します。ECOMET Vは、特許取得済みの3軸キャプスタン駆動設計を備えており、プログラマブルなトラバース速度範囲は毎分10〜600 mmです。これにより、ウェハトランスポートの高速化、研磨/研磨結果の改善、および時間の節約につながります。各プロセスサイクルの優れた品質と優れた一貫性により、表面仕上げが向上し、研削時間が短縮され、ウェーハ基板の消費量が最小限に抑えられます。独自の両面回転ウエハセットアームシステムにより、精密な研磨および研磨プロセスに統合されたセットアップが可能です。均一な力のローディングがウェーハに均一に適用され、ウェーハ表面全体に均一な平坦性とアライメントが確保されます。研削/研磨プロセスは、高度なプロセスコントロールと複数のレシピを実行することができる統合ソフトウェアによってさらに最適化されています、駆動速度を制御することができます、サスペンションの読み込み、ツール圧力、ツールの回転速度など。パラメータは、特定の生産要件またはプロセス要件を満たすように簡単にプログラムされます。システムモジュラー設計および頑丈な構造は任意付属品の完全な範囲によって動力を与えられる加えられたユーザーの便利を提供します。人間工学に基づいたコンソールは、研削と研磨の結果を監視しながら、セットアップ、校正および制御設定、およびプロセスパラメータの変更にアクセスしながら、目のレベルで配置することができます。BUEHLER ECOMET Vの革新的な設計により、継続的な安定性、一貫した性能、長期的な信頼性、および今後数年間の低メンテナンス要件が保証されます。そのすべては、より高い効率、精度、品質に対する要求を満たすために、ウェーハ加工プロセスを最適化することを検討している人にとって素晴らしい選択肢です。