中古 BUEHLER ECOMET V #9032870 を販売中

BUEHLER ECOMET Vは、超精密半導体ウェーハの製造と製造のために設計された高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。独自の研磨・研磨技術を駆使し、平面性、形状精度、表面仕上げの厳しい要件を満たしています。システムの中心には、高度なHTCダイヤモンド研削ユニットがあります。二重頭部潤滑機械は粉砕の間に適切な冷却剤の配分を保障します、調節可能な車輪のカートリッジは異なった表面の終わりのための研摩の穀物の選択の微調整を可能にします。また、ポジショナーの配列を使用して、基板を電極とブラシヘッドに相対的に配置し、研削プロセスを正確に制御することができます。ラッピング&研磨のために、ECOMET Vは、垂直、水平、円形の振動ラッピング&研磨ヘッドを組み込んだ多軸モーションプラットフォームを使用しています。リアルタイムプロセスモニタリング資産は、実際のパラメータに関するフィードバックを提供し、研削盤とラッパーの調整を可能にします。このモデルは、望ましい表面仕上げを実現するために多段研磨技術を利用しています。最初の段階は発射台で、ラップされた表面が研磨のために準備されています。第2段階はダイヤモンド研磨研磨パッドを使用し、第3段階および最終段階には、表面仕上げをさらに洗練するために、化学-機械研磨（CMP）を含むさまざまな加工ソリューションが装備されています。BUEHLER ECOMET Vには、機器と他の製造プロセスを統合するためのソフトウェアおよびその他のアクセサリのフルラインが含まれています。統合されたビデオ監視システムは、研削、ラッピング、研磨プロセスの表示を可能にし、データ収集ユニットは、詳細なデータロギングを提供します。ECOMET Vは、包括的な安全機能を備えており、すべての地域の安全規制を満たすことが認定されています。BUEHLER ECOMET Vは、高度な研磨および研磨技術により、超精密ウェーハ部品を製造するための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。