中古 BUEHLER ECOMET III #9178016 を販売中
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BUEHLER ECOMET IIIは、半導体ウェーハ、光学部品、薄膜の製造および特性評価に最適な高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。精密スピンドルと研削治具を組み合わせた単軸プラットフォームにより、ユーザーは効率的に研削とラップの両方を行うことができます。ECOMET IIIは、負荷、スピンドル速度、送り速度、研削深度など、関連するすべてのパラメータを正確に制御できます。また、ウエハ温度を監視して研磨時に精密な研削を行う自動センサも含まれています。BUEHLER ECOMET IIIは、マイクロプロセッサ技術と堅牢な駆動システムを使用して、高い精度を維持します。ドライブユニットにはゼロバックラッシュギアトレインを搭載しており、クリアランスを最小限に抑えながら高速かつ狭いスペースでの走行が可能です。機械はまた均一な粉砕を保障するために選択可能なピッチ補償を提供します。この補償は、作業面の正確なドレスを維持し、研削チャッターや振動を最小限に抑えるために操作中に調整することができます。ECOMET IIIには、調整可能な研削深度制御と、テーブルスピード、スピンドル速度、フィードレートなどのいくつかの調整可能な動作パラメータが含まれています。工程パラメータは、粉砕される材料、望ましい粒度、および望ましい表面粗さによって異なります。この柔軟性により、ユーザーはそれぞれの作業を特定のニーズに合わせて素早くカスタマイズできます。BUEHLER ECOMET IIIは、優れた表面仕上げで非常に精密なサーフェスを生成することができます。このツールは、研削、ラッピング、研磨の3つの別々の段階を利用して、高度に研磨された表面を生成します。研削ステージは、ダイヤモンドホイールを使用して、ウェーハから材料の薄い層を研磨します。ラッピングステージは、材料と表面の均一性を可能にする小さなチャネルを作成することにより、表面を洗練するために使用されます。研磨ステージはコンボ研磨パッドを使用し、歪みのない極めて微細な仕上がりを実現しています。ECOMET IIIは、動作中に安全な作業環境を確保するための完全なエンクロージャを備えています。このアセットには、環境中のほこりの存在を最小限に抑えるための掃除機モデルと、センサーストップ付きの安全ガードも含まれています。BUEHLER ECOMET IIIは、ウェーハや光学部品の製造、研究、特性評価に最適なソリューションです。
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