中古 BUEHLER ECOMET III #9133292 を販売中

BUEHLER ECOMET IIIは、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シングルウェーハ研削、ラッピング、研磨のための高精度な結果を提供するように設計されています。これは、優れた精度、再現性、表面仕上げ制御を提供し、より大きなプロセス制御と高い歩留まりを実現します。全自動6軸ロボットと精密リニアモーターステージを組み合わせた多目的ユニットです。6軸ロボットは、横方向の動きのための2つの軸、角度運動のための2つの軸、および直線運動のための2つの軸を含む幅広い動きを提供します。精密リニアモーターステージは、高い精度と再現性を備えた高性能ワーキングプラットフォームを提供し、シングルウェーハまたはマルチウェーハのアプリケーションに柔軟性を提供します。このマシンにはECOMET IIIソフトウェアパッケージも装備されています。このソフトウェアは、直感的なユーザーインターフェイス、インタラクティブなプランニングツール、プロセス制御機能、プロセスパフォーマンスを追跡するための数学機能など、さまざまな高度な機能を提供します。このソフトウェアには、統合された安全なデータ管理ツールも含まれています。BUEHLER ECOMET IIIは様々なアプリケーションに適しています。薄膜成膜、パッシベーション、ダイシング、バックグラインド。さらに、パターニング、デバイス分離、薄型化、計測にも使用できます。この資産はまた、信頼性の高い再現性で、優れた品質の結果を提供します。また、統合された安全モデルで、簡単なメンテナンスと操作のために設計されています。さらに、この機器には、自動レベルコントロール、リモートモニタリング、あらゆる軸に対するフィードバックなど、さまざまな制御オプションが含まれています。さらに、専用のツーリングアダプターとサンプルホルダーがセットになっており、柔軟性を高めています。最後に、ECOMET IIIもISO 9001認証を取得し、最高品質の規格とプロセスを保証します。すべての部品は良質材料からなされ、業界標準に付着します。さらに、要求の厳しいウェーハ処理環境での信頼性の高い動作を保証するために、このシステムは幅広くテストされています。