中古 BUEHLER ECOMET III #9033156 を販売中

BUEHLER ECOMET IIIは、半導体ウェーハ製造用に特別に設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この高度なシステムは、シリコン、GaAs、サファイア、石英など、さまざまな半導体材料を研削、ラッピング、研磨することができます。ECOMET IIIは、精密な惑星研磨研磨板を使用して、ウェーハ表面の優れた仕上げと、ウェーハの厚さと寸法の優れた精度を提供します。BUEHLER ECOMET IIIは、ラッピングと研磨中に正確な速度と圧力制御を提供する正確な外部シーメンスのサーボモーターを搭載しています。これにより、加工されたウェハごとに高品質の表面仕上げが保証されます。ECOMET IIIには、各ウェーハのカスタム仕上げに調整可能な独自の調整可能な圧力セルが装備されています。BUEHLER ECOMET IIIはまた、最適なラッピングと研磨結果を保証する温度制御チャックを内蔵しています。ECOMET IIIは、オペレータの注意を最小限に抑え、一貫したスループットと品質の結果を提供するように設計されています。これは、繰り返し可能なウェーハローディングのための自動インデックス作成や、多くのプロセスレシピ設定を保存する機能などの組み込み機能によって実現されます。BUEHLER ECOMET IIIは、特定のアプリケーション要件に合わせて2つの異なる研削ホイール（ダイヤモンドまたは非ダイヤモンド研磨）を選択できます。ECOMET IIIはまた容易な維持および整備のために設計されています。このユニットにはスピンドルメンテナンスマシンが含まれており、惑星研磨プラテンの迅速かつ簡単なメンテナンスを可能にします。BUEHLER ECOMET IIIには、自動研削メディア補充ツールも搭載されており、アセットが一貫してウェーハに均一な仕上がりを生み出していることを保証します。全体的に、ECOMET IIIは、半導体産業の生産性を向上させるための優れた仕上げと精度を提供する、信頼性の高い汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。装置は使いやすく、設置面積が小さく、特定のアプリケーション要件に合わせて簡単にカスタマイズできます。