中古 BUEHLER ECOMET III #74995 を販売中

BUEHLER ECOMET IIIは、さまざまな半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイスを処理するように設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高精度、高速研削、研磨機能を備えており、ユーザーは優れた表面品質とデバイス製造サイクル時間を達成することができます。このユニットの先進的な設計は、振動のない操作のために設計された硬質アルミニウムフレームと、完全自動処理をサポートするCNCまたはPLC制御システムの選択を特徴としています。高速低圧ラッピングマシンは、特殊なダイヤモンド粉末を使用して反復可能で制御可能な結果を提供します。このツールは、マルチスロット機能で最大12個のウェーハを同時に処理できます。ECOMET IIIは、高速でも正確かつ一貫した動作を実現するよう設計されています。可変スピードドライブと正確なトルク制御により、高品質な出力を実現します。このマシンの可変速度駆動アセットは、+/-0。01 rpmの精度で、多軸動作にわたって速度を正確に制御することができます。このモデルには、プログラム可能なリフト/ロードアームとロボティクスとの自動化されたインタフェースも含まれており、ウェーハの正確かつ一貫したロード/アンロードを可能にします。内蔵の安全装置は、可聴および可視アラーム、自動シャットオフ、および緊急シャットオフ機能を備えた個人保護を提供します。シリコン、サファイア、ゲルマニウム、フェライト、ガラスなど様々な材料を加工することができます。また、片面、両面、同時及びシーケンシャル、特定の領域、平坦で不均一な研磨などの複数の研削、ラッピング、研磨プロセスをサポートしています。このマシンは、さまざまな種類のマイクロおよびナノ加工プロセスのために一貫して平らで滑らかで傷のない表面を生成する能力をユーザーに提供します。さらに、BUEHLER ECOMET IIIは、自動ドレスやインプロセス補正、研削品質検査などの高度なオプションを提供し、ユーザーが生産プロセスを最適化することができます。さらに、高効率チラーシステムは、より高品質の研磨結果のための温度制御動作のために利用可能です。要するに、ECOMET IIIは、高精度、高精度、および性能の最高水準を満たすように設計された強力で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。高度な設計と強力な制御システムにより、さまざまな材料を処理するための効果的で効率的なソリューションをユーザーに提供します。