中古 BUEHLER ECOMET 4 #9294141 を販売中

BUEHLER ECOMET 4は、集積回路（IC）の回路に使用される半導体および関連材料用に特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この多機能システムは、サファイア、窒化アルミニウム、ゲルマニウム、ダイヤモンド、シリコンなどの幅広い材料で、滑らかで精密な接地とラップ面を製造するのに理想的です。このユニットは、200 mmから12 in （300 mm）のさまざまな厚さとサイズのウェーハを1つのセットアップで処理できるため、異なるウェーハサイズで作業する際にプラテンを手動で変更する必要がありません。機械は互いに独立して動く2つのプラテンが装備されており、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御できます。プラテン回転モータとツーリングアーバーの組み合わせにより、これらのプロセスで最高レベルの精度を保証します。プラテンは、最大回転速度600RPMの高速研削、ラッピング、研磨にも最適化されています。精密研削とラッピングに加えて、ECOMET 4ツールは、回転、軌道、線形研磨などの高度な研磨機能を提供します。すべての磨くプロセスは2nmまでの磨く均等性を作り出すように設計されています。さらに、高精度のリニアフィードを搭載し、サンプルの位置決めを正確に制御します。利便性のため、BUEHLER ECOMET 4ウェハ研削、ラッピング、研磨モデルには、交換可能なプラテン、ツーリングアーバー、研磨パッド、およびアクセサリの幅広い範囲が含まれています。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、精密研削テーブル、リモートデータロギングなど、ユーザーフレンドリーな機能も備えています。これにより、オペレータはプロセスパラメータを迅速かつ簡単に監視、プログラム、およびレビューすることができます。ECOMET 4システムは、信頼性と汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、要求の厳しい大量の材料加工アプリケーションに最適です。