中古 BUEHLER Ecomet 3000 #293630180 を販売中

BUEHLER Ecomet 3000は、幅広い基板の平面化と精密平坦性を実現するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。非常に複雑な硬化した金属表面を粉砕してラップする能力を持ち、最も困難な用途に合わせて調整することができます。Ecomet 3000には、postgrind/lapプロセスの精密マイクロラップ機能もあります。この精密研磨機は、多種多様な材料からのウェーハの製造とメンテナンスに不可欠なシステムです。高精度な表面研削スピンドルを搭載し、クローズドループモータ駆動サーボユニットで駆動します。高速・高精度の研削・ラップ加工が可能で、高表面仕上げと低厚さバリエーションの間で調整・再現が可能です。BUEHLER Ecomet 3000は、SiC、 Si、 GaAsなどの様々な材料にも使用できます。このツールには、統合された制御資産と、精度と速度を向上させるために使用できる多数のオプションが装備されています。CCDカメラとSmartViewイメージングモデルを統合することで、リアルタイムで研削および研磨プロセスを制御および検査することができます。この装置は、高品質の表面を一貫して製造または維持できるようにします。Ecomet 3000は、最も作業が困難な材料の広範囲にわたって一貫した平面化と平坦性を提供できる高精度システムです。研削とラッピングパラメータの包括的なライブラリがあり、ユーザーはアプリケーションの特定の要件に合わせてプロセスを微調整できます。このユニットの特徴は、統合制御、イメージング、温度制御、クローズドループのフィードバック制御、および操作が容易なソフトウェアなど、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に理想的なマシンにするために組み合わされています。