中古 BUEHLER Ecomet 3 #9352405 を販売中

BUEHLER Ecomet 3は、ダイやウェーハ材料の加工に特化した自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、粗研削、研削ラッピング、ダイヤモンド研磨の3つのレベルの仕上げのための独立したワークステーションを備えています。欠陥評価、結晶構造解析、平面生成など様々な用途に適しています。BUEHLER ECOMET-3は、一度に最大8つのウェーハを収容できるように設計されており、研削ステーションにインデックスする自動キャリアを装備しています。その2つの別々の研削ホイールは、最大1000rpmまでの異なる速度で実行することができます。研削サイクルは、単一の研磨ディスク、または2つの研磨ディスクを使用して、特定の摩擦係数を取得します。そのラッピングステーションには、表面の欠陥を排除し、仕上げ品質を向上させるために、表面に沿って均一で滑らかな動きのための特別な惑星ドライブが装備されています。研磨ステーションは高精度な結果を達成することができ、可変ダイヤモンドスラリー塗布率と研磨速度のスラリー調整を適用することができます。ハードウェアはCAMS Profileソフトウェアパッケージによってサポートされており、ユーザーは素早く簡単にカスタマイズされた材料タイプと治療パラメータを設定できます。このユニットには、自動温度フィードバックループも装備されており、ワークピースがステーションに入るときに指定された温度に留まるようにします。さらに、Ecomet 3のコントロールマシンは、オンデマンドのデータロギングとトレンドを提供します。ECOMET-3はCE認定を受けており、自動クリーニング、ウェハキャリアローディング、および一般的なメンテナンスなど、さまざまなオプションとサービスプログラムが付属しています。幅広い材料に対応し、異なる環境条件下で動作する汎用性を備えています。BUEHLER Ecomet 3は、ウェーハ、ダイ、その他の基板の加工に、経済的で精密に制御され、自動化されたソリューションを提供します。