中古 BUEHLER Ecomet 3 #293808563 を販売中

BUEHLER Ecomet 3は、要求の厳しいアプリケーションに最高のスループットと品質を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまな半導体、メム、およびオプトエレクトロニックウエハを迅速に処理できます。BUEHLER ECOMET-3には、事前にロードされた研磨カルーセル、スピンドル、3つのプロセスチャンバー、マルチゾーンヒュームフードが含まれており、効果的で効率的で安全なプロセスを保証します。Ecomet 3のプリロードされた研磨カルーセルには、研磨、ラッピング、研磨用の研磨化合物と化合物が含まれています。この自動プリロードにより、ウェーハプロセス全体で研磨材を使用できるようになります。ECOMET-3のスピンドルは研磨ホイールの表面と連動し、形状、回転、圧力を使用して制御された研削を実現することで、より効率的な切削動作を実現します。さらに、スピンドルには、研磨ホイールの表面が使用可能であることを確認するための複数の焼戻し機構が含まれています。BUEHLER Ecomet 3の3つのプロセスチャンバーは、ウエハのサイズと形状、特定の研磨および研磨要件に合わせて個別に設定できます。例えば、下部チャンバはラッピングに使用され、上部チャンバと中間チャンバはそれぞれ研削と研磨に使用されます。この多目的な機械は水晶、サファイア、SiC、多結晶ダイヤモンドおよび他のウエハの基質を含むいろいろな材料を、支えることができます。BUEHLER ECOMET-3のマルチゾーン発煙フードは、効果的で効率的で安全なプロセスを保証します。粉砕・研磨工程で放出される金属粉塵や金属酸化物などの有害物質を捕捉します。さらに、ESC Intelligent Control Architecture on Ecomet 3は、ウェーハの歩留まりと品質を向上させながら、生産性を最適化するためのリアルタイムのステータスとプロセス監視を提供します。結論として、ECOMET-3は高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、要求の厳しいアプリケーションにスループット、品質、安全性を提供します。この機械には、自動プリロードされた研磨カルーセル、効果的なスピンドル、3つのプロセスチャンバー、および危険な材料を捕捉するためのマルチゾーンヒュームフードが含まれています。BUEHLER Ecomet 3のESCインテリジェント制御アーキテクチャは、生産性と品質を最適化するためのプロセス制御と監視を提供します。