中古 BUEHLER 69-1100 #9148818 を販売中

BUEHLER 69-1100は、大量および/または高精度のウェーハを処理するために必要な時間と労力を削減するように設計された完全なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。システムには、カスタム設計の調整可能なヘッドストック、ドレッシング機能、およびデュアルフォワード/リバースワークヘッドが装備されています。このパワフルで汎用性の高いウェーハ加工ユニットは、直径8インチまでのウェーハの高速で一貫した反復可能なラッピング、研磨、研磨、仕上げを提供します。機械は可変的な速度制御のための3つのHP、 2つの速度ドライブおよび3つのモーターによって動力を与えられます。ドレッシング機能は、研削圧力と研磨率を最適化するために調整可能です。内部電源も調整可能で、ユーザーは単一のウエハまたはバッチのウエハを処理する過程でパラメータを有利に変更することができます。調節可能な光学テーブルにより、ロボットウェーハフィーダへの正確なアライメントが可能です。フォワード/リバースワークヘッドは、ウェーハの研削とラッピングのための前方回転運動と、研磨と微粒仕上げのための逆転運動に対応します。ウェーハ研削ホイールは粗く微細な研削のために調整可能であり、ウェーハ研磨パッドは様々な研磨プロセスのために調整可能です。ヘッドストックは様々なウエハ径に調整でき、内部変数は特定のプロセスやロットサイズに合わせて調整できます。これらの機能を組み合わせることで、69-1100は大量かつ高精度なウェーハ処理において、迅速に一貫した結果を得ることができます。BUEHLER 69-1100はステンレス製のエンクロージャで構成され、騒音と振動を最小限に抑えるように設計されています。このツールには、研削盤と研磨機を混乱させるリスクを最小限に抑え、作業者とプロセスの両方を保護するいくつかの安全機能も装備されています。このアセットは、チラー、真空ウェーハハンドリングシステム、ロボットウェーハフィーダ、およびさまざまなプロセスパラメータ監視および制御機器と統合できます。69-1100ウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、大量および/または高精度のウェーハ処理に最適なソリューションです。この完全な装置はセットアップし、作動し易く、すばやくそして一貫して望ましい結果を達成でき、労働者の安全および信頼性のために設計されています。このシステムは、強力なモーターと調整可能な変数を使用して、ウェーハ処理プロセス全体を最大限に制御します。