中古 BUEHLER 488182 #9096828 を販売中
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BUEHLER 488182装置は、ウェーハエッジ研削、ラッピング、研磨用に設計されています。半導体ウェーハの高精度コース仕上げと仕上げ表面精度を提供します。このユニットは、手動制御ハンドルと統合された精密ギアドライブマシンを備えた調整可能な制御プラットフォームで構成されています。このツールには、ウェーハ研削研磨ディスクとパッドをサスペンドする下腕サポートが含まれており、ユーザーは従来の手研削と同様にウェーハに印加された圧力を調整することができます。調節可能なコントローラーはユーザーが望ましい表面の終わりを達成するために必要である正確な速度でダイヤルし、フライホイールの速度を制御することを可能にします。さらに、このアセットには真空ガウジングとラッピングオプションも含まれており、従来の研削技術よりも低い圧力でウェーハ表面を研磨して仕上げることができます。488182モデルは、最適な表面仕上げを達成するためにダイヤモンド研削、ラッピング、研磨研磨材料の組み合わせを利用しています。この装置で使用されるダイヤモンドの研摩剤は従来の粉砕および磨く技術と比較された優秀な表面の終わりを提供できます。ダイヤモンド研磨剤は、ウェーハ研磨作業の迅速な作業を行い、システムは、バリ、傷などの表面欠陥を除去し、仕様内の結果を達成する能力を持っています。ラッピングプロセスは、吊り下げられた球状の吸収紙を使用して研磨粒を均等に分配し、より均一な表面仕上げを実現します。BUEHLER 488182ユニットは使いやすいタッチパネルディスプレイを採用しており、操作が容易です。画面上のグラフィックスは、研磨タイプ、ディスクサイズ、ラッピング圧力などのウェーハ研磨パラメータに関する明確な情報をユーザーに提供します。また、ウェハの表面状態をリアルタイムでモニタリングすることで、表面結果の解釈が容易になります。さらに、工具の精密部品を維持し、研磨粒子がウェーハ表面に付着しないようにするための潤滑機能も備えています。この機能により、研削中および研削後に部品を洗浄する時間が短縮され、製造工程の効率が向上します。これらの機能と機能はすべて、488182資産の優れた表面仕上げ機能に貢献します。このモデルの調節可能なコントローラを使用することで、最も要求の厳しい精密半導体プロセスの基準を満たすウェーハ研磨結果を達成するために必要な速度と圧力を簡単に設定できます。
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