中古 BUEHLER 39-1470 #9131231 を販売中

BUEHLER 39-1470は、精密ウェハ加工および微細加工用途向けに設計されたウェハベースの研削、ラッピング、研磨装置です。コンパクトで汎用性の高いシステムで、特定のニーズに合わせて構成できるため、迅速で正確な生産と品質保証が可能です。機械に4つの交換可能なワーキングステーションがあり、金属、セラミックス、複合材を含むすべての種類の材料を研削、ラッピング、研磨することができます。この設計には、再現性と最適なプロセス制御を確保するためにフローティング研磨コントロールが組み込まれており、専用の湿式/乾式研削および研磨用品およびアクセサリーが含まれています。機械に20まで棒の調節可能な流れそして圧力調節が付いている完全な圧力および流れ制御の機能が、あります。このユニットは、印象的な精度を達成するために高速ダイレクトドライブモーターを備えています。真空チャックは、治具やチップコレクションを支援しながら優れた部品保持を提供します。最適な表面品質のための機能を制御する個々の固定および回転部品は、ジョイスティックまたはオンパネルコントロールで操作できます。6-20NMトルクと0。1-0。6 μ mで動作し、優れた半径と研削/研磨性能を実現します。さらに、パワフルで直感的でユーザーフレンドリーなウィンドウベースのソフトウェアを搭載し、ウェーハのセットアップ、制御、データキャプチャ、分析を可能にします。データのキャプチャ機能には、研削工程と研磨工程の両方を含むシングルステーションおよびマルチステーション操作が含まれます。パネルデータを入力として取り込み、ウェーハ研削と研磨サイクルを時間、効率、コストに最適化できます。さらに、このマシンは、正確なサンプル位置決めのための完全に調整可能なサンプルチャンバー、調整可能なアイドリングスピード、空気と真空システムの論理工学など、直感的に設計された人間工学的な機能の広い範囲を含んでいます。このマシンには、品質の高いウェーハ表面仕上げをより確実にするためのオプションのスラリーデリバリーツールもあります。全体として、39-1470は非常に汎用性の高い資産であり、研削、ラッピング、研磨ウエハに関して最高の精度と精度を提供し、あらゆる要件に適しています。