中古 BUEHLER 10-1040-460 #9276732 を販売中

BUEHLER 10-1040-460は高精度の操作のために設計されているウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。このシステムは、ウェーハの厚さ、平坦度、並列性、およびその他の幾何学的特徴に対する厳しい公差を達成することができます。10-1040-460は、機械式アクチュエータとラッピングアクチュエータの組み合わせにより、プロセス全体に一貫した負荷と研削圧力を適用するため、高精度の平坦制御と一貫した表面品質を提供します。このユニットは、0。500mmから1。500mmまでの厚さのさまざまなウェーハをサポートするように設計されています。BUEHLER 10-1040-460は洗練された結果を達成するために複数の部品を含んでいます。精密スピンドルは、ウェーハを真空パッド上に保持し、プロセス全体にわたって安定性を維持します。傾斜機能を備えた静水性ベアリングで、研削運動の角度や方向を可変することができます。3軸サーボモータテーブルを使用して、ウェハのX-Y-Z運動を制御し、ラッピング手順に正確に配置します。ラムズウール研磨パッドを備えた高速ラッピングヘッドは、X-Y-Zテーブルの動きに従います。10-1040-460は監視し、余分な粉砕圧力を防ぐためにさまざまな部品を含んでいます。例えば、フリーフローティング圧力トランスデューサは、ウエハに対してラッピングヘッドの圧力を継続的に監視します。これにより、必要な表面仕上げをより厳しく制御し、過剰な粉砕圧力を防ぎます。さらに、光電子変位センサとLCDディスプレイモニタは、ウェハの位置と表面プロファイルを正確に監視します。高度なタッチスクリーンオペレーターインターフェイスを使用することで、便利で高精度な操作が可能です。インターフェースを介して、オペレータは圧力や速度などの設定を簡単に定義し、研削、ラッピング、研磨プロセスの進行を監視することができます。このオペレータインターフェイスは、BUEHLER 10-1040-460の操作と制御を合理化し、結果の信頼性と正確性を確保します。結論として、10-1040-460は、ウェーハの正確な動作と厳しい公差を確保するためにコンポーネントを装備した高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。精密スピンドル、サーボモータテーブル、ラッピングヘッド、圧力トランスデューサ、および光電子変位センサから高度なオペレータインターフェースまで、このツールは最小限のオペレータ努力で信頼性の高い正確な結果を提供するように設計されています。