中古 BODINE 24ABEPM-Z4 #9153425 を販売中

ID: 9153425
Gear motors.
BODINE 24ABEPM-Z4ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハの精密かつ非常に正確な処理のために設計されています。可変精度の高い柔軟性を必要とするアプリケーションに最適です。このシステムは高い再現性を備えており、同じバッチのウェーハから正確な結果を得ることができます。BODINEユニットは、初期ウェハ研削にダイヤモンド研削ホイールを採用しています。一貫した力を制御された均一な方法でウェーハに加えることで、ウェーハ表面全体の均一性を実現します。研削工程に続いて、ウエハをラップし、研磨石で磨きます。このプロセスは、ウェーハ表面に残っている微小なアスペリティと欠陥を除去します。精度と再現性を確保するために、24ABEPM-Z4は、ウェーハに対して精密な力と運動を一貫して適用できる高精度チャックを装備しています。チャックは、空気中の粒子による汚染からウェーハを保護するために誘電保護室に囲まれています。さらに、チャンバーは温度調整されているため、プロセス全体を通して一貫した範囲に留まります。BODINE 24ABEPM-Z4には、プロセス全体の自動管理を可能にする強力で正確なPIDフィードバック制御マシンが装備されています。このコントローラは、ユーザーが研削、ラッピング、研磨フェーズの速度、温度、圧力を調整することができますカスタマイズ可能な設定の数を備えています。このコントローラはまた、プロセスの容易な監視、エラー検出および調整を可能にする包括的な表示を備えています。要するに、24ABEPM-Z4は精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための優れた選択肢であり、業界の要求に適した多数の強力な機能を備えています。包括的に設計されたフィードバック制御ツール、温度調整されたチャンバー、反復可能な結果により、信頼性の高い一貫したパフォーマンスを求めるユーザーにとって理想的な選択肢となります。
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