中古 BBS KINMEI E-450 #293636220 を販売中

BBS KINMEI E-450
ID: 293636220
ウェーハサイズ: 8"
Edge polishers, 8".
BBS KINMEI E-450は、半導体ウェーハの精密研削・研磨用に設計された先進的なウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。E-450には高出力のDCモーターが搭載されており、表面の高速研削とラッピングが可能です。このシステムはまた、プロセス全体にわたってウェーハの動きを連続的かつ直接制御する高精度の空気圧フィードユニットと組み合わされています。さらに、革新的なエンジニアリングにより、低摩擦と低粒子生成が保証され、ハイエンド用途に優れた滑らかさと表面仕上げを提供します。BBS KINMEI E-450は、研削/ラッピングプロセスを制御するための革新的な電気機械設計を利用しています。これには、研削/ラッピング動作とストローク周波数、方向、負荷、速度などのパラメータを正確に制御できるクローズドループのモーションコントローラが含まれます。これにより、手動操作と比較して高い精度と再現性が得られます。さらに、均一な研削と研磨面の仕上げを実現するために、研削圧力と強度を調整するのに役立つ空気圧バッファリングマシンが装備されています。E-450には、回転ダイヤモンド研削盤と独立したインデックスプレートが装備されており、ウェーハの表面を中央から外側にひっくり返すことができます。BBS KINMEI E-450には、熱露出によるウェーハへの潜在的な損傷を防ぐために、ツールを冷却するのに役立つ内蔵のチラーもあります。さらに、E-450は高度な研削ツールホルダーで構成されており、必要に応じて素早く簡単に工具を変更できます。最後に、BBS KINMEI E-450は、清潔で安全な作業環境を確保するステンレス鋼の保護チャンバーで製造されています。このチャンバーには、有害粒子への曝露リスクをさらに低減するダストフィルタ資産も含まれています。E-450は、粒子発生を低減し、優れた表面研磨・研磨結果を提供するさまざまな機能を備えた信頼性の高いモデルです。
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