中古 APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #73051 を販売中
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販売された
ID: 73051
metal layer CMP system, copper, 8"
Software license, re-installation and startup to Tier II
Mirra Mesa CMP
Original W system - running Cu
Mesa cleaner
One monitor, trackball
50 ft cables
InSitu removal rate monitor (ISRM) detectors on all 3 platens
50ft ISRM cables
Standard cassette tank
Titan 2 heads for tungsten
AEP retaining ring
Pad conditioner:
DDF3 - new design with clean up spray nozzle, N2 purge
Extended rinse slurry dispense arm
Platten Pad: Process kit with IC1000 pad
Standard Platten no temperature control
Wafer loss sensor with light pipe
3 slurries (AB1, AB2, AC3) 1 DIW per platten, std flow, without flow monitor
One drain line to facilities - all drains manifold into one
NPT drain fittings
Electronic control box for slurry monitoring only
Light tower: 3-color vertical, Red/Green/Yellow with flash and buzzer
No key switch, compatible with all light towers and no light tower
Lower exhaust for standalone system
Remote start/stop button on polisher
Guard ring on all EMO (CE compliant)
Single spray gun
No Window in side panel
Tie-downs on polisher & controller feet
No UPS
Smoke detector in controller
No pad puller, for one line to facilities option
Nanometrics
Universal disk holder
ABT Universal disks
Cass present sensor
Wafer mapping
Kit Cascading Ergo fabs w/o filter
2006 vintage.
応用材料Mirra Mesaは優秀な表面の終わりの堅い許容を維持する必要がある人々のための理想的なウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。このシステムは、生産プロセスを犠牲にすることなく、効率的にウェーハを一貫した高精度な仕上げに研削し、ラップするように設計されています。これは、高度なモーションコントロールエレクトロニクスと高性能の研磨ホイール、ならびに内蔵のキャリブレーションとプロセス監視機能と組み合わせて、サーボ電動スピンドルパワーの10kW以上によって駆動されます。様々な工程で粗挽きを行うことで優れた表面仕上げを実現しますが、必要に応じてより細かい表面仕上げが可能です。研削ホイールは、ハイブリッド設計により、高性能な研磨材、ダイヤモンドグリット、超硬グリットを組み合わせて、プロセス全体でウェハが非常に滑らかに保たれるようにしています。ホイールの設計には、幅広いスピンドル速度とステップアドバンスレートが組み込まれており、必要に応じてはるかに高速な研削と仕上げ速度を提供します。ホイールには、精度と均一性を向上させる独自の発振機能も装備しています。Mirra Mesaマシンは、最大限のプロセス制御を確保するために、研削とラッピングプロセスを正確に制御するためのデジタルアナログハイブリッドコントローラを備えています。これにより、オペレータはボタンをクリックしてスピンドル速度または振動速度を調整することができます。さらに、工具は、必要に応じて修正を行うために、プロセス温度、圧力、力、振動、およびその他のダイナミクスを監視します。さらに、安全運転を確保するために、自動緊急シャットオフや緊急遅延ボタンなど、さまざまな安全機能を提供しています。また、ゼロフォースコンプライアンス装置を搭載し、研削砥石を保護し、破損を防止します。最後に、このシステムには、さまざまなダイヤモンドやカーボランダムグリット、ウェハホルダー、チャックなどの幅広いアクセサリー、および幅広いプロセス監視および制御ソフトウェアが装備されています。これらはすべて、効率的で制御可能な研削、ラッピング、研磨ユニットを追加します。このユニットは、タイトな公差と優れた表面仕上げでウェーハを正確かつ均一に仕上げることができます。
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