中古 APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #151915 を販売中

アプライドマテリアルズMirra Mesaは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ユーザーフレンドリーな設計は、高速、高収量の生産のために完全に自動化されています。システムの不可欠なコンポーネントは、最小限のメンテナンスで最大の効率を提供するように設計されています。Mirra Mesaは、ロボットウェーハ処理ステーション、ウェーハ研削ステーション、ウェーハラッピングステーション、ウェーハ研磨ステーションで構成されています。ロボットは、研削/ラッピング/研磨ステーション間でウェーハを素早くロード、アンロード、転送します。研削ステーションは、密閉された精密制御スピンドルに取り付けられたダイヤモンド研削ホイールを使用して、ウェーハを形成します。ラッピングステーションには、精密な表面研削仕上げのための多軸ガントリーが装備されています。研磨ステーションは、3軸の精密駆動で仕上げと表面粗さ制御を提供します。ユニット全体は、シリコン、シリコンオンインシュレーター、その他の材料を含む幅広いウェーハ材料向けに設計されています。統合制御機は高速データ収集と制御を備えており、簡単なプログラミングとデータストレージを可能にします。さらに、APPLIED MATERIALTS Mirra Mesaは、3軸すべてのモーションにツールセンターを備え、3軸すべてのバックラッシュをゼロにする優れた非接触軸受テクノロジーを備えています。このツールは、作業エリアから排出されるすべての研削、ラッピング、研磨粒子で優れた空気ろ過を提供し、オペレータと機器の安全性を確保します。プロセスの自動化、ユーザーフレンドリーなプログラミング、安全性の向上により、オペレータはより効率的になり、歩留まりを向上させることができます。Mirra Mesaアセットも拡張可能で、2軸と3軸の構成が可能です。このモデルは、従来の方法よりも短時間で、より良い歩留まりで、さまざまなウェーハ材料を正確に研削、ラッピング、研磨することができます。アプライドマテリアルズMirra Mesaは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のコストと複雑さを削減するために設計された最先端の機器です。