中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390825 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSリフレクシオンは、さまざまな半導体ウェーハ加工用途向けに設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。主にSi、 GaAs、 Geなどの半導体ウェーハの裏面研削やラッピングに使用されます。このシステムは、研削ヘッド、ラッピングプレート、ウェハチャック、ウェハキャリアを組み合わせたモジュラープラットフォームで構成されています。AMAT Reflexionユニットは、最先端のデバイスを開発するためのすべての製造ステップに最大限の柔軟性を提供します。APPLIED MATERIALS Reflexionの研削ヘッドは、平均除去率が印象的な大小のウェハサイズを加工するために設計されています。ロータリー研削ヘッドは気密コンパートメントに囲まれており、幅広いクリーンルーム操作に適しています。その攪拌機スタイルの設計は、研削工程中にすべての研磨スラリーが濾過されることを保証し、高品質の結果を保証します。研削ヘッドは1つまたは2つの研削石で構成することができ、アプリケーションに応じてインデックス化することができます。Reflexionのラッピングプレートは、最適な表面仕上げを提供するように設計されています。アクティブなドラム移動が可能な高精度軸運動機構を採用し、ウェーハの位置決めやトポグラフィ測定においてサブミリ精度を実現しています。プレートは、高強度ステンレス鋼から構成され、様々なサイズで利用可能です。さらに、ラッピングプレートは、広範囲の直径と厚さに対応するために調整可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexionマシン用のウェーハチャックおよびウェーハキャリアは、研削およびラッピング工程中にウェーハを迅速かつ正確に保持し、導くように設計されています。キャリアは、研削ヘッドにウェーハを固定するために使用され、チャックはラッピングに使用されます。両方の部品が研削ヘッドに取り付けられているため、簡単かつ正確な位置決めが可能です。チャックとキャリアは、研削またはラッピングプロセスの圧力と速度を調整するための単一のノブで、ユーザーインターフェイスを介して制御することができます。AMAT Reflexionには、さまざまな安全および監視デバイスが装備されています。これらには、安全でない状態の場合に機械を停止させる動力インターロックと、ウェハの厚さと状態を監視するために使用できる光学カメラが含まれます。さらに、このツールは、オペレータに不適切な研削またはラップ速度を検出して警告する診断など、多くの診断機能を備えています。さらに、オンボード診断により、ユーザーは望ましい結果を達成するために資産を迅速かつ正確に再調整することができます。APPLIED MATERIALS Reflexionは最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルで、デバイス処理に最大限の柔軟性と精度を提供します。強力な研削ヘッドと精密なラッピングプレートにより、オペレータはあらゆるウエハ加工アプリケーションから最高品質の結果を得ることができます。最先端の安全、監視、診断機能により、すべての操作が安全かつ効果的に実行されます。