中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9375642 を販売中

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ID: 9375642
ウェーハサイズ: 12"
CMP System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALSリフレクシオンは、半導体、MEMSなどの先端材料用途に自動精密加工を提供するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、最高レベルの表面品質と平坦性を提供し、最新の技術を使用するために特別に設計されています。AMAT Reflexionは、さまざまな手動および自動化されたプロセス制御機能を備えたパワー、柔軟性、信頼性を兼ね備えています。このシステムは、さまざまなプロセスパラメータを使用して、表面の地形、定量的な表面仕上げ、さまざまな基板の平坦性を正確に制御します。オンボードコンピューティング機能を使用して、リアルタイムでプロセスを分析および制御し、目的の結果を提供できます。APPLIED MATERIALTS Reflexionの柔軟に設計されたプロセスステーションは、基板やウェーハの容易な積み下ろし、メンテナンスを可能にします。これは、処理のための各ウェーハの正しい配置を確保するための視覚機能を備えた統合ロボットウェーハローディングマシンが装備されています。このツールには、高水準の表面平坦性と仕上げを実現するパワーコントロール研削、ラッピング、研磨システムも含まれています。ツールレス研削アセットは、プロセスの変化する条件に合わせて高品質の結果を保証し、ラッピングモデルはオンラインとオフラインで動作し、正確なプロセス制御を保証します。インテリジェントで進化的な適応型ソフトウェアスイートは、研磨プロセスを最適化し、卓越したレベルの表面精度を提供します。Reflexionはまた、ウェーハの包括的な測定機能を提供し、多数の標準および独自の測定機能を提供します。この装置の先進的な測定機能により、比類のない精度と再現性を提供し、ウェーハごとに最大32のパラメータを測定できます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexionは、精密研削、ラッピング、研磨用途に最適なソリューションです。使いやすい機能と高度なプロセス制御機能により、複雑なプロセスを簡素化し、精度を向上させ、優れたレベルのパフォーマンスを提供します。
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