中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9225982 を販売中
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販売された
ID: 9225982
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
CMP System, 12"
Process: Tungsten
Polisher:
Clean dry air and nitrogen: Maximum flow 30 SCFM
De-ionized water (DIW): Maximum 5.8 GPM
Slurry (1-3): 600 SCCM
Exhausts: Max 150 CFM
AC Power: 208 V, AC 5%
Cleaner:
Nitrogen maximum: 3 SCFM
Clean dry air maximum: 13.4 SCFM
De-ionized water (DIW) maximum: 4.0 GPM
Process cooling water maximum: 1.8 GPM
AC Power: 208 V, AC 5%
FI Specification:
Vacuum: 12.6 psig
Clean dry air maximum: 20 scfm
AC Power: 208 V, AC 5%
Polisher configuration verification:
(4) Polishing heads: 12" Titan profiler 2.1
Polisher head: (4) Zones
ISRM: P1 Full scan, P2 scan
(3) Pad conditioners
(3) Pad conditioner heads modify to cylinder type
Slurry: Line A, B, C / (2) Peristaltic pumps
ENTEGRIS Flow controller
X3, NT Flow controller X1
Polisher platen without cooling function
LCWE Input / Output type edge type wet robot
Cleaner configuration verification:
Wet robot in KAWASAKI mode
P490 Connector missing
FI Configuration verification:
KENSINGTON Robot
(3) Load ports
Operating system: Windows XP
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding、 Lapping and Polishing Equipmentは、半導体基板やその他の硬質材料の高精度、超滑らかな平面およびエッジを製造するための包括的なソリューションです。このシステムは、他のどのユニットよりも滑らかなフラットを生成するように設計されており、複数のウエハ基板にわたって均一性を与えることができます。マシンは、メインユニットとコントロールステーションで構成されています。本体は、2つの研削スピンドル、2つのラッピングプレート、3つの研磨ステーション、2つの電子コントローラ、カートリッジフィルターユニット、1つ以上の電源ユニットを含むいくつかのコンポーネントで構成されています。研削スピンドルは、研削、研削開口部とナイフ/ブレード切断を担当しています。ラッピングプレートは、通常、正方形と長方形の基板の両方のすべての平らな表面とハンドルの同時研削、ラッピング、および研磨を担当しています。研磨ステーションは、必要な平面とエッジの均一な鏡面仕上げを作成するための責任があります。電子コントローラは、個々のコンポーネントのさまざまな側面、速度、および時間のすべてを制御します。電源ユニットは、すべてのコンポーネントに電力を供給し、継続的な出力と信頼性の高い動作を保証します。メインユニットはコントロールステーションまたはオペレータインターフェイスに接続されます。このステーションは、タッチスクリーン、コマンドを入力するためのキーボード、3つのロード/アンロード位置と任意の有害な粒子から動作スタッフを保護するための分離で構成されています。制御ステーションはツールの「脳」であり、負荷、研削、ラッピング、研磨、およびアンロードからのプロセス全体を管理するだけでなく、資産の他のパラメータを監視および制御する責任があります。オペレータインターフェイスは、データを収集し、必要なすべてのパラメータが特定の値の範囲内であることを確認する責任もあります。また、事前にプログラムされた機能と設定の豊富なライブラリもあります。これにより、オペレータはパラメータを調整し、より複雑なサーフェスを作成するためのより多くのオプションを提供しながら、一貫した結果を維持することができます。AMAT Reflexion Wafer Grinding、 Lapping、 Polishing Modelは、幅広い材料に完全に平坦で滑らかな表面を作成するように設計された高度なソリューションです。高度なオートメーション、強力な機能、ユーザーフレンドリーな設計により、この装置は表面仕上げの要件を満たすための効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。高度な技術、精度、信頼性により、幅広い用途に対応する高精度部品の製造に最適です。
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