中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Semes #9241951 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexion Semesは、半導体メーカーの厳しいニーズに応えるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。Reflexionの高性能オペレーションにより、ウェーハの製造中により良い歩留まりを生成し、生産ウェーハの薄型化、ラッピング、研磨、チップオンウェーハアプリケーションなどの要求にうまく対処できます。Reflexionのシステムコンポーネントは、統合ソリューションを提供することで効率を最大化するように設計されています。主なコンポーネントには、ポリッシャー、フロントエンドローディング（FEL）トランスポートユニット、ターンテーブル、オプションのSEMIフレックスラッパーがあります。この研磨機は、自動化、精度、再現可能なウェーハ処理にFELで使用するように設計されています。特許取得済みの非接触表面センシング技術により、研磨剤と製品表面を近接して継続的に維持します。これにより、発生する表面力の量を減らし、表面の均一性を向上させます。FELを使用すると、エンドユーザーのプロセス制御により、ウェーハが再現可能な方法でロードされるようになります。Reflexionには、マシンから取り外すことなくウェーハの両側の処理を可能にするターンテーブルも含まれています。これにより、ウェーハの平坦性が確保され、マイクロフラットの均一性が向上します。最後に、オプションのSEMI-flexラッパーを使用すると、同じ研磨サイクルで複数基板ウェーハを研磨し、スループットを向上させ、サイクル時間を短縮できます。Reflexionは、安全性とメンテナンスを念頭に置いて設計されています。異常な圧力や温度が発生した場合の自動停止、液体オーバーフロー警報など、多くの安全機能を備えています。また、自己診断ツールとオンボードサービスモニターを備えており、メンテナンスの問題を特定するのに役立ちます。要約すると、AMAT Reflexion Semesは汎用性と信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、歩留まりを改善し、処理サイクル時間を短縮するために設計されたさまざまな機能を提供します。その統合されたコンポーネントは高度なプロセス制御を提供し、最高レベルの安全とメンテナンスを保証します。