中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9023774 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LKは、フラットで光学的に完璧なシリコンウェーハを製造するために設計された、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、厚さ8-125 μ mの高品質の薄型シリコンウェーハの完全な製造に使用されます。このユニットは、高精度のダイレクトドライブモーターマシン、一致したフレキシブルカップリングと同期ユニットを使用したモーションコントロール、高性能アクティブフルードクーリングツールなど、一連の先進技術に基づいています。ダイレクトドライブモーターアセットは、研削/ラッピングプロセスを正確に制御します。フレキシブルカップリング/同期ユニットは、研削/ラッピング軸間の正確な動き同期を提供します。アクティブ流体冷却モデルは、装置全体に信頼性の高い冷却源を提供します。AMAT Reflexion LKはモジュラー設計も備えており、異なるタイプの研削/ラッピングプロセスを切り替えることができます。このシステムは、片面研削/ラッピング、両面研削/ラッピングなどのさまざまな構成にも対応できます。高速フラット研磨プラテンを搭載し、加工されたウェーハの正確な平坦性と滑らかさを実現しています。応用材料Reflexion LKは最高の効率、信頼性および安全のために設計されています。複数の故障安全マシン、ソフトウェアベースの監視ツール、資産を保護し、事故を防ぐための複数のインターロックなど、高度な安全機能を備えています。これらの安全機能は、潜在的な害からオペレータとモデルを保護するのに役立ちます。Reflexion LKは、シリコンウェーハ加工に最適なツールで、MEMS、 LED、 ICプロセス関連技術など、幅広い用途に適しています。フラットで光学的に完璧なウェーハを傷つけずに製造できる装置で、高精度で超高感度なシリコンプロセスに最適です。また、最高の生産性と精度で非常に滑らかな平坦性を達成するように設計されています。