中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #293807807 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LKは、特許取得済みの最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、基板から金属、半導体、その他の半導体アプリケーション向けの最高品質のボンドインタフェースを製造するよう設計されています。このシステムは、さまざまなウェーハサイズ、形状、材料に最大限の精度を提供し、ナノスケールのウェーハ製造に最適です。AMAT Reflexion LKは、独自の3軸ダイヤモンド工具位置決めユニットを使用して、直径4インチまでの小さなウェハを正確に研削、ラップ、研磨します。この精密機械は望ましくない切断力を減らし、より高い収穫および質をもたらします。粉砕および磨く周期は密接に監視される圧力、回転速度および温度と堅く制御されます。これにより、プロセスで除去または追加された材料の量を正確に制御できます。in-situレーザーゲージングを使用することで、ツールの精度がさらに向上します。これにより、材料除去プロセスのリアルタイム測定と制御が可能になり、プロセスの均一性が保証され、資産の精度が向上します。さらに、モデル内のコリメータは小さなスポットサイズを確保し、より高い均一性と精度を提供します。ウェーハ研削、ラッピング、研磨サイクルをオプションで拡張して、化学機械研磨(CMP)などの後処理ステップを含めることができます。CMPプロセスは、より高い精度と表面平坦性を実現し、ウェーハ間の均一性を向上させることで、ウェーハの精度をさらに向上させます。APPLIED MATERIALTS Reflexion LKはモジュラープラットフォームで開発されており、幅広いウェーハ製造アプリケーションに非常に多用途で適応可能です。この装置には、光学検査システム、High Q(長さ安定性)ユニット、および滑らかな材料処理プロセス用のオートローダなど、多くのオプション部品を装備することができます。結論として、Reflexion LKは、精密な3軸ダイヤモンド工具位置決めを提供する最先端の研削、ラッピング、研磨機です。このツールは、さまざまなウェーハアプリケーションで均一性、精度、および精度を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexion LKは、レーザーゲージングやCMPなどの高度な機能により、ウェーハの品質と均一性を確保し、歩留まりの向上と市場投入までの時間の短縮を実現します。
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