中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK #9283335 を販売中
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販売された
ID: 9283335
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Dielectric CMP system, 12"
Process: SIF, BPSG, Poly buff CMP
AMAT Reflexion LK:
(4) Heads
(3) Platen polishing systems
Dry in and dry out
Polisher skins
Gap wash
Load cup wafer exchanger
NOVA 3090 Next ready
(2) Monitors
Light tower
FOUP
WIP Delivery type
OHT Light curtain
E84 PI O Sensors and cables
E99 Carrier ID
Docked E99 reading capability
Docking flange shield
Frame configuration
Load ports
Load port operator interface
Operator access switch
Platen type
High pressure rinse flow meter
Rinse arms
Platen pad conditioner
Flow meter
Polishing technology
Polishing head
Cross break
Pad wafer loss sensor
Inter platen clean
Upper pneumatics assembly
ISRM Laser key switch
Slurry delivery system
Power cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Encoder cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
AMATは、さまざまな用途に優れた結果を提供するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LKシステムは、生産レベルのプロセスに最適な多くの利点を提供します。直径300mmまでのウェハ加工が可能な堅牢なプラットフォームで、最大8つの研削/ラッピング/研磨ヘッドを備えています。この構成により、高いスループットと汎用性を実現し、幅広い用途に対応できます。さらに、AMAT Reflexion LKには、精密な結果を保証する高度なクローズドループ・プロセス制御技術が搭載されています。この精度は、機械の可変速度ACスピンドルモータによってさらに補完され、均一な材料摩耗による制御された材料除去速度を実現します。APPLIED MATERIALTS REFLEXION LK Reflexion LKには複数のクランプ機構があり、多種多様なワークに適しています。これには、平面基板を収容するための特許取得済みのエアワフト搬送クランプと、直径200mmまでのラウンドウェーハ用の人気の5ポイントクランプが含まれます。Reflexion LKの他の機能には、ヘッドコンフィギュレーション、アップグレード性、保守性を容易にする革新的なモジュラーギアボックスがあります。機械はまた統合された機械健康の監視および診断が装備されていて、オペレータの可視性の高レベルを提供します。また、Reflexionの設計により、自動微粒子洗浄や化学/ガス洗浄など、さまざまな洗浄プロセスが可能になります。APPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LKは、再現性と精度で優れた結果をもたらすために設計された強力な性能を提供します。このツールのハイテクプログラミング、堅牢な設計、および幅広いクランプオプションにより、さまざまなプロセスに適しています。高度なプロセス制御と統合診断/メンテナンス機能を備えたAMAT Reflexion LKは、さまざまなウェーハ研削、ラッピング、研磨アプリケーションに最適なソリューションを提供します。
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