中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime #293808181 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293808181
ヴィンテージ: 2017
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System
Hard Disk Drive (HDD)
No polishing head
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Primeは、一般的な半導体製造からMEMSプロトタイピングまで、幅広い用途に使用される高性能ウェハ研削、ラッピング、研磨装置です。高解像度、低表面粗度で研削、ラップ、研磨に優れた性能、精度、柔軟性を提供します。AMAT Reflexion LK Primeは、高度な技術を活用して、最も厳しいプロセス要件を満たすために、同時にウェーハを研削、ラップ、研磨することができます。APPLIED MATERIALS Reflexion LK Primeは、研削時にウエハの弓状または歪んだエッジを制御するIR ALDユニットを備えています。独自のアームベースの剛性とダイナミックな研削プラットフォームを採用し、幅200mmまでのウェハ加工を可能にするとともに、非常に微細な研磨を可能にする2つの別々の研削機構を実現しています。さらに、ダウンスピンドル圧力センサを使用することで、ウェハ表面にかかる研削力の安定性とフィードバックを実現します。Reflexion LK Primeは、比類のない再現性で低表面粗さと優れたエッジ品質を実現します。3軸ロボット、高度なタッチセンシングツール、専用のマシンビジョン資産と組み合わせて、モデルは処理ジョブをストリーム化し、理想的な速度で正しい位置決めを自動的に設定します。高感度の圧力調整とクーラント配分と統合されたプロセス制御ソフトウェアにより、優れたプロセス制御を実現します。高度な光学曲率測定装置は、LK Prime動作を設定するための正確なウェハボウ測定を保証し、その結果、光学的に平らな表面が達成されます。さらに、ウエハ曲率測定技術を一体化し、研削工程中のウエハ曲率を測定し、材料除去の精密な制御を可能にします。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Primeは、トップダウンのウェハレベルベースのアプローチを採用しており、正確なプロセス制御を実現しています。AMAT Reflexion LKプライムウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、優れた平面化、表面仕上げ、エッジ品質を必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。このマシンは、ツールが継続的なパフォーマンスを提供し、さまざまなアプリケーションのニーズを満たすことを確実にするために、販売後の幅広いサポートを提供する強力なサービスチームによって支えられています。
まだレビューはありません