中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #9292971 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide装置は、高度な技術とユーザーフレンドリーなソフトウェアを組み合わせた、ウェーハ基板の迅速で正確かつ費用対効果の高い生産を実現するウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。このユニットは、優れた電気的および熱的特性を備えた高アスペクト比、高均一ウエハおよび超薄層を生成します。AMAT Reflexion LK Oxideマシンは、コーティングヘッド、ラッピング/研磨ヘッド、研削ヘッドの3つの主要コンポーネントで構成されています。コーティングヘッドには、アモルファス窒化ケイ素、二酸化ケイ素およびその他の酸化物の精密な堆積のための統合された真空チャンバーが含まれています。ラッピング/研磨ヘッドは、複数の基板の均一な研磨を提供するために設計されています。また、複数のウエハ基板の同時研磨を容易にするために、2ゾーンホルダーを内蔵しています。最後に、研削ヘッドにはウェーハ基板を効率よく研削するための研磨ディスクが組み込まれています。ウエハ表面から酸化ケイ素などの層を除去することができます。APPLIED MATERIALTS Reflexion LK Oxideツールは、極薄層のウェーハ製造用に特別に設計されています。それは1nm/cm2よりよい均等性のちょうど11nmの超薄い層を作り出すことができます。アセットはまた、積極的な研削や研磨を必要とせずに精密な平面化を提供するように設計されています。これにより、ウェーハ表面の損傷を防ぎ、一貫性のあるウェーハ品質を保証します。Reflexion LK Oxideモデルは、精密ウェーハコーティングを確実にするために、高度なソフトウェアコアアナリシス技術を使用しています。このスキャンは製品開発を加速し、ウェーハからウェーハまで一貫性を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexion LK酸化物装置は、要求の厳しい生産アプリケーションに最適です。その高度な技術、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、正確な平面化により、複雑なウエハ基板の製造に最適なソリューションです。効率の向上、製品品質の向上、生産コストの削減により、最大の価値とコスト削減を実現します。