中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #293659314 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
ID: 293659314
Dielectric CMP System.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS リフレクシオンLK酸化物は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウムなどの基板の大量製造に使用され、半導体産業の平面化ニーズに適しています。LK酸化物の構造部品は腐食および錆に対して優秀な抵抗を提供するステンレス鋼のような産業等級の金属および合金の部品と、造られます。この装置は、速度と精度のYAGレーザービームを生成しながら、600°Cの最高温度で動作することができます。ビームの強度は、そのビーム電圧と電流の調整によって校正され、調整されます。構造化粧品に加えて、LK Oxideには4つの研削ヘッドと2つの研磨/ラッピングプレートが含まれています。直径12インチまでのラッピングおよび研磨プレートをサポートできます。プレートを回転させる機能により、ユニットは1つのパスで平らで均一に研磨された基板を生成することができます。グラインダーヘッドにはプリセットダイヤモンドグリットが付属しています。LK Oxideは、ロボットアーム技術を利用してウェーハをステーションからステーションに転送します。これにより、ウェーハの破損を最小限に抑えて、正確で信頼性の高い機械を機械に転送および遷移させることができます。さらに、検疫ステーションは、プロセス中に追加の汚染や劣化からウェーハを保護します。マシン全体は、RCS (Reflexion Control Tool)と呼ばれる独自のソフトウェアによって制御されます。RCSは、最適な結果を得るために、複数のアルゴリズムを使用してレーザービームの強度を校正および制御します。また、ユーザーは以前の設定やパラメータを簡単にリコールするためのカスタムプログラムを保存することができます。このAPPLIED MATERIALTS LK Oxideは、半導体産業の高度な平面化ニーズに合わせて設計された効率的で信頼性の高い資産です。その産業グレードのコンポーネントと高度なソフトウェアは、ウェーハの破損や汚染のリスクを最小限に抑え、優れた性能と精度を提供します。
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