中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper #293802361 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS）リフレクシオンLK Cupperは、従来の3Dや3D集積回路などの化合物半導体材料の製造に使用するために設計された、ウエハ研削、ラッピング、研磨用のフルサイクル装置です。このシステムには、このような複雑な構造を生産するために不可欠な部品の配列が含まれています。LK Copperは、150 mmから100 mm以下の範囲のウェーハサイズのエッジと表面の両方を正確に研削することができる自動ウェーハグラインダーを備えています。ウェハグラインダーは、汚染を最小限に抑え、熱露出を低減し、高いプロセス再現性と信頼性を可能にし、複雑な構造の仕上げに適した機能を備えています。次に、LK Copperユニットのラッピングステーションは、クラス最高の性能を得るために設計された高品質の研磨ソリューションです。高度なサブアパーチャ研磨技術を搭載し、ラッピングステーションは厳しい平坦度と粗さの要件を満たす表面を生成することができます。これにより、熱応力を最小限に抑え、最大のスループットを確保しながら、望ましい表面仕上げを実現します。最後に、LK Copperの研磨ステーションには、表面欠陥レベルを最小限に抑え、均一な表面仕上げを保証するさまざまな自動プロセスが装備されています。これらのプロセスには、高度な平面化技術、化学機械研磨（CMP）、電気化学機械研磨（ECMP）などの高度な技術が含まれます。これらのプロセスの結果は、150mmまでのウェーハを含む、従来の3Dおよび3D集積回路の要件を満たすサーフェスです。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK銅ウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、さまざまな産業用途に適した化合物半導体材料の製造に統合されたソリューションを提供します。このツールのコンポーネントは精度と信頼性を考慮して設計されており、高いプロセス再現性と最大スループットを実現します。LK Copperは、平面性と粗さに対する厳しい要件を満たす表面を生成し、構造の完全性と寸法安定性を確保します。