中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion GT #293705874 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion GTは、半導体およびナノテクノロジー産業向けの汎用性と精度の高いウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。AMAT Reflexion GTは、最新の技術進歩を組み合わせ、基板の高品質な表面仕上げを可能にします。これは、最適化された機械オートメーション、信頼性の高い堅牢な研削、ラッピングおよび研磨プロセス、および幅広い構成と費用対効果を備えた低コストの所有権を提供するように設計されています。APPLIED MATERIALS Reflexion GTには、12インチウェーハハンドラと完全に自動化可能なワークステーション（WST）が搭載されており、正確なモーションコントロールと人間工学に基づいてプロセス全体を制御できます。2段階のモーションシステムにより、モーションレンジが簡素化され、手動の再配置が不要になります。WSTは、電動のXYZ軸を利用して、最適化された研削、ラッピング、研磨プロセス能力を可能にします。ウェーハ処理ユニットは、2つの独立した多軸スピンドルアセンブリと最大1つの特殊工具位置を使用します。スピンドルは、統合されたCNC （Computer Numerical Control）プログラムを介して自動的に制御できます。また、WSTはカセット間の転送にも対応し、機械の動作と生産性を最適化することができます。Reflexion GTのホイールヘッドは、無限の回転率と方向制御を提供するように設計されています。このマシンは、最先端の材料科学とプロセスベースのアルゴリズムを使用して、プロセス結果を最適化します。それは低い操業費用を維持しながら均等性および最高の精密を提供します。このツールは、異なる基材に対応するための自動グリットサイズの変更機能を備えた2軸調節可能なグラインダーを備えています。角度とピッチの範囲を研削することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion GTは、非常に微細な基板加工用の専用バリ取りアセットを使用して、追加の機器を必要とせずに正確な仕上げを実現します。また、様々な研磨機能と高度な基板回転と変換モデルを備えており、スタンドアロンまたは統合モードで動作し、さらなる精度と生産性を実現します。AMAT Reflexion GTは、効率的で正確なウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。生産および研究アプリケーションの両方のニーズを満たすように設計されており、低メンテナンスコストで信頼性の高い運用を提供するために構築されています。広大な構成で、この装置はあらゆる基質の処理の必要性にとって理想的です。