中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Desica #9293597 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Desica
ID: 9293597
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
CMP System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Desicaは、材料の表面曲率と仕上げを正確に制御する革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、直径200mmまでの材料の非接触研削、ラッピングおよび研磨用に設計されています。6軸電動ポジショニングステージを採用しており、位置再現性と分解能が高く、ワークごとに均一な仕上がりを実現しています。AMAT Reflexion Desicaはさまざまなコンポーネントで構成されており、すべてが調和して動作するように設計されています。主な部品は、6軸の位置決めをサポートし、振動と回転運動を達成することができる高分解能グラインダー/ラッパーです。グラインダー/ラッパーをサポートするフレームアセンブリと、精密結果の位置決めのための追加のXおよびY位置決めステージ、および軸受プレロード制御を備えたスピンドルアセンブリ。スラリー貯水池、研磨ステージ、空気補償モジュールがユニットの他のコンポーネントです。機械全体は、高度なプロセス制御のための柔軟で直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して操作されます。ユーザーインターフェイスは複雑な操作を簡素化し、研削および研磨プロセスを簡単に調整できます。プロセスのすべてのステップは、同じインターフェイスを介してリモートで監視および制御することができ、収集されたデータはリアルタイムで表示およびログインされます。APPLIED MATERIALTS Reflexion Desicaは、事前にプログラムされたプロセスレシピを最小限の手動介入で使用できるインターロックツールも備えています。Reflexion Desicaは正確さを念頭に置いて設計されており、優れた精度で材料を正確に研磨および研磨する機能を備えています。研削および研磨プロセスは、インテリジェントなグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して高精度で監視および制御することができ、顧客は最高の精度のプロセス制御により、最終製品がすべての部分で一貫していることを安心できます。最後に、本番環境での再現性と高スループットを考慮して設計されています。高い再現性係数を持つAMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexion Desicaは、ユーザー定義のプロセスパラメータに応じて最適な結果を生成できます。
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