中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223735 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、半導体ウェーハ加工用のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。AMAT Reflexion 3600は、最適なスループット、柔軟性、および精度のために設計されています。コンパクトでオープンフレームのフットプリント設計により、ユーザーに最大限のアクセシビリティを提供し、自動ハンドリングシステムとの統合を可能にします。APPLIED MATERIALTS Reflexion 3600は、高精度の位置決めと動きを提供する頑丈で信頼性の高い磁気浮上リニアモータを備えており、ウェーハの位置決め精度と10 μ m以上の再現性を実現しています。また、2つの独立して制御された研磨/研磨ヘッドを備えており、最大直径200mmまでのウェーハに対応し、最高速度は300rpmです。Reflexion 3600には、真空補助「タグ」システムと、Z軸の高さ制御で素早くロードとアンロードを可能にするプログラム可能なクロスヘッドも含まれています。また、ウエハスピンドルの立体的な位置決めと実装ハードウェアとプログレッシブプロセスのパワーカーブを備え、さまざまな加工条件で最適な結果を得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は安全で使いやすい操作のために設計されています。これは、RPM、トルク、シフトアップ/ダウン、ウェハクリーニング、真空レベル、および利用可能な自動分離などのパラメータの広い範囲で、LCDタッチスクリーンディスプレイを介して調整することができる制御マシンを備えています。このツールはまた、ユーザーフレンドリーで直感的であるように設計された直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータはプロセスを迅速かつ正確にプログラムして実行することができます。AMAT Reflexion 3600は、精密な研削および研磨プロセスを必要とする半導体製造およびその他のアプリケーションに最適です。高精度の位置決めと再現性、自動化されたプロセスとユーザーフレンドリーな制御を組み合わせたAPPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、理想的な結果を得るための信頼性の高いソリューションです。