中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223702 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、さまざまな基板上に光学的に平坦で滑らかな表面を生成するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。特許取得済みのプロセスは、特別に設計されたダイヤモンド研削/ラッピングストーンを使用して、ウェーハの表面を所望の粗さに研削およびラップします。ウェーハ研削は、望ましい光学品質を達成するために、マルチリング研磨プロセスに続いています。AMAT Reflexion 3600はコンパクトでありながら、最新のロボットおよびオートメーション技術を搭載した豊富な真空チャンバーを備えています。これにより、スループットと柔軟性が向上し、異なる製品、基板、サイズに対応できます。シングルウエハ入出力技術、最大18種類の基板の自動ローディングとアンロードが付属しています。研磨工程は、精密油圧治具に対してウェーハを駆動するダイヤモンド強化プーリーを使用して行われます。これにより、研磨プロセスの最適な均一性と制御が保証されます。さらに、CLAPC （Closed-Loop Automated Pressure Control）モジュールも組み込まれており、研磨プロセス中にウェーハに印加された圧力を監視し、結果を正確に制御することができます。APPLIED MATERIALS Reflexion 3600の洗練されたプロセスコントローラは、操作を完全に自動化し、使いやすいグラフィカルインターフェイスを備えています。これにより、レシピの保存とリコール、ポリシーの設定、異常の検出、プロセスパラメータの微調整が簡単に行えます。さらに、研削および研磨プロセスのリアルタイム監視、並びにプロセス診断とエラーコードのスイートを提供し、オペレータはあらゆるバッチでプロセスの有効性を評価することができます。Reflexion 3600は、チャンバーとそのコンポーネントを清潔で粒子のない状態に保つために封じ込めバギングユニットを使用しているため、安全でクリーンな環境を確保するように設計されています。さらに、この機械には、空気中の汚染粒子を除去するための堅牢な真空ツールが含まれています。全体的に、AMAT/APPLIED MATERIALTS Reflexion 3600は、最高の精度でウェーハを研削および研磨するための効率的で信頼性の高い資産です。精密なプロセス制御、自動化された機能、堅牢な安全機能により、さまざまなアプリケーションに最適です。