中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223700 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、研究開発および半導体製造のために設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、非常に精密で均一な結果の生産を可能にするユニークな研磨アプローチを利用しています。ユニットには、インテリジェント測定機に囲まれたカンチレバーサスペンション付きの圧力制御ポリッシングヘッドが含まれており、研磨プロセスのフィードバックを提供します。AMAT Reflexion 3600は、ウエハサイズに合わせて調整可能なパテン付きポリッシングヘッドとモジュラープラテンで構成されています。研磨ヘッドには、自動圧力トランスデューサによって作動するカンチレバーサスペンションツールが含まれており、ウェハの厚さに関係なく精密かつ均一な研磨が可能です。特許取得済みのモジュラープラテンにより、ウエハの研磨面を正確に指定できます。また、大型ダイから小型基板まで、さまざまなウエハサイズに対応できます。さらに、研磨時の接触圧力の変化を読み取り、応答できる自動圧力制御センサを備えています。これにより、GaAs、 Si、 SiC、 GaNなどのさまざまなウェハタイプのプロセスパラメータを調整できます。また、調整可能な研磨速度と均一な結果を維持するためにプラテンの速度を制御するフィードバックモデルを備えています。さらに、APPLIED MATERIALTS Reflexion 3600には、高度なロボットローディング装置があります。これにより、自動ロード、部品の転送、およびプロセス監視が可能になります。このシステムには診断機能も内蔵されており、ユーザーがユニットの問題を検出してトラブルシューティングするのに役立ちます。Reflexion 3600には、研磨前と研磨後の両方の基板の高解像度画像をキャプチャするユニークなイメージングマシンが含まれています。これにより、直接比較とプロセスの改善が可能になります。また、これらの結果を安全なデータベースに保存し、データが他の部門や担当者に安全に送信されるようにします。全体的に、AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、さまざまなSEMI標準基板で動作するように設計された、強力で正確で効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。その特徴は、研究開発および半導体製造用途に最適です。