中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #293625723 を販売中
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ID: 293625723
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
CMP System, 12"
Wafer shape: Notch
(3) Load ports, 8"
Dry in/dry out system
Clear type skin
MESA Cleaner type
Operator interface: FI Load port 4
Heater lamp
Polisher options:
Profiler head
4-Port Upper Pneumatics Assembly (UPA)
Dark pad sensor
KAWASAKI Wet robot
(2) Slurries pump type
Slurry dispense arm: Fixed
Platen configuration (1, 2, 3):
Platen type: PFA Coater platen
Platen pad: IC 1010
Platen pad conditioner: Screw-type disc
Cleaner options:
MEGASONIC Tank
Type: Pressurized
Scrubber module for 1 and 2:
Brush type: Texwipe PVA
Delivery type: Pressurized low flow
Upper E84 Senor and cable
KAWASAKI Single arm track robot
Standard load port: Operator interface
Load port: (25) Enhanced wafers FOUP
Facilities options:
Line voltage: 200-300 V
Line frequency: 50/60 Hz
GFCI: 30 mA
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。半導体ウェーハ、MEMS部品、ナノスケールなどの微細な材料を高精度に加工するために設計されています。その設計はまた、最適な性能のためのプロセスパラメータの正確な制御を可能にします。AMAT Reflexion 3600は、ハイドロプレーニング技術を使用して、ウェーハなどの硬質材料で高品質の表面仕上げと均一性を実現します。ハイドロプレーンプラットフォームは、ワークピースと研削、ラッピング、研磨パッド間の連続的な接触を可能にします。表面の変色を最小限に抑え、加工時間を短縮します。機械は自動停止機能の回転ワークホルダーを含んでいます。これにより、必要に応じて除去または導入された材料の量を正確に制御することができます。ワークホルダーにはバックサイドエアシステムも内蔵されています。これにより、変形や振動を低減し、正確で再現性のあるプロセス結果を得ることができます。APPLIED MATERIALTS Reflexion 3600は、ウェーハ1個あたり10分未満の迅速なプロセスサイクル時間を実現し、ユーザーが望む結果をすばやく達成できるように設計されています。このマシンには、簡単に操作できる直感的なユーザーインターフェイスも含まれています。Reflexion 3600はまた、精密な裏面研削とラッピングのための多軸モーションプラットフォームを備えています。また、フロントサイドの環境エンクロージャは、システムを予防不安定な汚染から保護するように設計されています。さらに、このマシンにはさまざまなセンサーと安全機能が標準装備されています。これには、多軸衝突検出、滑り止め安全機能、振動保護機能が含まれます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600は、ユーザーが繊細な材料の最高レベルのプロセス精度を達成できるように設計された、強力で信頼性が高く正確な機械です。その洗練されたデザインは、ユーザーが望む成果を迅速かつ効率的に達成することを可能にします。
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